旭阳教育训练计划----第四章低温等离子体.pptVIP

上节要点回顾 气体的电离或激发 电子和气体原子、分子碰撞，会发生弹性碰撞、激发、电离等各种不同的过程。 按照能量传递过程可分为： 1弹性碰撞； 2非弹性碰撞； 弹性碰撞 若电子或离子的动能较小，当与原子或分子碰撞时，达不到使后者激发或者电离的程度，碰撞双方仅发生动能交换，这种碰撞成为弹性碰撞。 弹性碰撞中动能守恒；但由于电子与 原子质量相差很大，电子碰撞后，速度的大小不变，仅改变方向；而被碰原子运动状态不发生变化； 非弹性碰撞 当电子或离子的动能达到数电子伏以上时，造成原子或分子的内部状态发生变化的碰撞称为非弹性碰撞。 非弹性碰撞对于气体放电的产生和等离子体状态的维持至关重要。 非弹性碰撞包括： 1电离；2激发；3回复；4解离；5附着；6复合； 电离—正离子的形成 电子碰撞电离过程：电子与原子A发生非弹性碰撞，使后者放出电子，形成正离子和两个电子 为实现上述电离过程，常态原子A需要吸收的能量 应大于原子最外层电子的束缚能，又称其为阈值能量。与阈值能量相对应的电位为电离电位； 其他电离方式 1光电离：光的能量用光量子hν表示，若原子吸收的能量大于电离能，则可产生光致电离： 激发—亚稳原子的形成 电子与常态原子发生非弹性碰撞，常态原子A中的电子吸收了入射电子的能量后，由低能级跃迁到高能级，破坏了原子的稳定状态，成为激发态，该原子叫受激原子A*。 激发态比较 例如：Ar的亚稳激发电位为11.55V，谐振激发电位为11.61V，低于一次电离电位15.755V。这是由于，与电离是将束缚电子完全移向无穷远处相对应，激发是将束缚电子迁移到更高能级 回复—退激发光 受激原子可在10-7~10-8s内放出所获得的能量回复到正常状态，放出的能量以光量子的形式辐射出去，该过程称为退激发光 解离—分解为单个原子或离子 解离：是由几个原子组成的分子分解为单个原子的过程。 在一般工程用等离子体中，这种解离过程以及前述的激发过程和后述的复合过程，都可以形成激发态的亚稳原子。实现解离的方法有： 附着—负离子的产生 附着：电子被原子、分子等捕获形成负离子的过程叫附着。反之，电子被负离子放出的过程叫离脱。 复合—中性原子或原子团的形成 如同回复是激发的逆过程一样，复合是电离的逆过程。 可能的复合机制有: 1三体碰撞；2二阶段过程；3伴随光辐射的过程 气体放电的过程 真空容器达到10~1Pa的某一压力时，接通相距为d的两个电极间的电源，使电压逐渐上升。 当电压低时，基于宇宙射线及存在与自然界的极微量放射性物质射线引起的电离，电路中仅流过与初始电子数相当的暗电流。 随着电压增加，当加速电子能量大到一定值之后，与中性气体原子碰撞使之电离，于是电子数按等比级数迅速增加，形成电子的繁衍过程。 维持气体放电的要素 (1)α过程 阴极发射出一个电子，该电子被加速，向阳极移动。当电子能量超过气体的电离能后，气体原子被电离成一个离子和一个电子。这样一个电子变成两个，重复这一过程，即实现电子的繁衍。 低温等离子体应用 * 低温等离子体 辉光放电 射频放电 低气压弧光放电 * 辉光放电的概念 曲线AC段属于非自持放电，在非自持放电时，参加导电的电子主要是由外界催离作用（如宇宙射线、放射线、光、热作用）造成的，当电压增加，电流也随之增加并趋于饱和，C点之前称为暗放电区，放电气体不发光。 随着电压增加，到达C点后，放电变为自持放电，气体被击穿，电压迅速下降，变成稳定的自持放电（图中EF段），EF段被称为正常辉光放电区，放电在C点开始发光，不稳定的CD段是欠正常的辉光放电区，C点电压Vf，称为击穿电压或着火电压、起辉电压，EF段对应的电压VS称为放电维持电压。 * 当放电电流更大时进入异常辉光放电FG段，这时放电单元阻抗变大。 当电流进一步增大，放电进入弧光放电后，在H点曲线变得平坦，压降小、电流大是弧光放电的特点。 实际的显示器件必须应用在正常或异常辉光放电区，这个区域放电稳定、功耗小。 * 辉光放电的产生条件 在放电开始前，放电间隙中电场是均匀的或至少 是没有很大的不均匀性； 辉光放电过程主要靠阴极上发射电子的γ过程来 维持； 放电气压p一般需要保持在4-10000pa范围内； 辉光放电电流密度一般在0.1-100mA/cm2 , 电压在300-5000V，属于高电压小电流密度放 电。 有一位“哲人”曰： 我经常将等离子体人性化，她的许多表现酷似于我们人类，常常不需要牵强的联想，就可以用我们日常的经验，甚至是我们内心的感受来理解她的行为 等离子体中的两性： 相互独立又相互扶持，平和时若即若离，逃逸时则携手并肩。 等离子体中的相互作用