新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能.pdfVIP

华南理T大学学报(自然科学版) Journalof China of V01．38NO．9 第38卷第9期 South UniversityTechnology Science 2010 2010年9月 (Natural Edition) September 新型碳纳米管复合薄膜材料的气敏性能宰 林伟 黄世震 陈文哲 (福州大学材料科学与工程学院，福建福州350002) 复合薄膜材料和相应的气敏传感器，通过FSEM、XRD和XPS等方法分析了复合薄膜材料 的横断面表面形貌、物相结构及表面化学组成，测试了该气敏传感器的灵敏度、选择性和 响应恢复等气体敏感性能．实验结果表明：该复合薄膜气敏传感器具有较好的气敏性能， 对NO，有较好的灵敏度，对其他干扰气体不敏感；Sn02／WO，／MWCNT薄膜中，w、sn、c 主要以W”、Sn+4和C的形式存在．文中还对气敏响应机理进行了初步的分析与讨论． 关键词：多壁碳纳米管；复合薄膜；传感器；气敏性能；二氧化氮 中图分类号：TP212．2 环境气体质量是一个很重要的问题，很多国家 文中将碳纳米管优良的物理与化学特性和传统 都制定了严格的环境保护法律，NO：是大气中的污 的气敏薄膜材料相结合，采用磁控溅射技术设计并 染物，难于在室温下分解…，因而，需要发展相关检 制备了新型金属氧化物一碳纳米管复合薄膜气敏材 测技术来监测大气中NO：气体的浓度．在已有的检 料和传感器，研究了复合薄膜气敏传感器的气敏性 测技术中，半导体气敏传感器具有结构简单、容易维 能，探索了复合薄膜气敏传感器的工作机理． 护、价格低廉等优点，很适合对大气的污染进行检 1 实验 测．半导体金属氧化物作为气敏材料的研究已有很 长的历史，SnO：和WO，是已知较常见的n型半导 1．1 体金属氧化物，已有研究成功地将SnO：、WO，及复 器的制备 合材料应用于NO：气体检测，且研究表明复合材料 表现出比纯氧化物更好的气敏性能旧J． 采用射频反应磁控溅射方法制备SnO：／WO，／ MWCNT复合薄膜及其传感器．在开始磁控溅射制 多壁碳纳米管(MWCNT)具有独特的电子、机 械、热、化学等特性，同时其高比表面积、纳米尺寸结 备薄膜和传感器之前，多壁碳纳米管(成都有机化 学有限公司产品，直径10～30 构等特性又使其展现出很好的气体吸附性能，是一 nm，长度5一15恤m， 纯度95％)采用文献[5]中的方法进行酸处理(酸 种理想的纳米气敏材料∞J．已有文献报道MWCNT 可以单独用于制作气敏材料，也可以进行掺杂生成 处理可以有效去除碳纳米管中的非晶碳杂质，提高 复合气敏材料，对H：、NH，、NO：等气体有较好的敏碳纳米管的分散性)．将经过酸处理的MWCNT添加 感性f4】．将碳纳米管应用于复合材料是目前比较热 并分散到有机溶剂巾，在超卢振荡器中处理2h，得到 门的研究课题． 充分混合的悬浊液，然后将其旋涂到锡靶和钨靶上． 收稿日期：2009．11．09 }基金项日：国家“863”计划项目(2007AA032325) 作者简介：林伟(196