第五章真空系统设计2教学文案.pptVIP

第五章、真空系统设计;主要内容：;1、真空系统的组成;Vacuum System Schematic Symbols;1.3 典型的真空系统;;;1.4 真空系统的基本操作规测;2、真空系统元件及连接;2.1 真空阀门;典型的真空阀工作方式：;典型的真空阀工作方式：;可调流量控制器;2.2 密封;真空阀门的胶垫密封结构;其它O-ring密封;快速接头组件;橡胶密封材料的基本要求 光华表面；无划伤；无裂纹；具有低的出气率、挥发率和透气率； 良好的耐热性、耐油性、抗老化能力、耐压缩形变（35%) 适宜的压力松弛系数（0.65）;真空阀门的金属垫密封;各式金属嵌入密封;优点 放气远小于橡胶； 气体渗透低 耐高温 缺点 金属密封圈弹性差，需要很大的密封力才能保证可靠的真空密封 重复使用性很差，有些金属密封圈只能使用一次 法兰密封面和刀口的粗糙度和配合精度要求高，很小的伤痕都能破坏密封，大尺寸法兰加工困难。 密封圈和法兰材料的线膨胀系数相差较大，加热不均匀或密封结构设计得不正确，会引起局部变形而造成漏气;2.3 真空连接及密封;穿通密封件 (Feedthroughs);磁流体 转轴;利用弯曲的伸缩管转动传送;线性传动;;;;;光学材料可选Kodial玻璃、石英、蓝宝石、特殊玻璃材料(例如硒化锌，氟化镁等)及有光学镀层的7980高纯熔融石英（专用于传输激光）。 ;3、真空卫生;3.1材料表面常见的污染形式;3.2 材料表面净化;3.3表面净化处理的基本方法;3.4 放电清洗;3.6 非金属材料的清洗;3.8 清洗注意事项;4、真空系统的设计计算;4.3真空泵的选择与匹配计算 主泵的选择与计算 前级真空泵(预抽泵)的选择与计算 4.4 真空系统的结构设计 4.5 真空系统的安装调试与操作维护;事例:;计算过程;确定真空室中保持1.3×10-3Pa的工作压强所需要的真空系统的有效抽速S;主要考虑管道3，阀门4、挡板5的流导； 确定气体流动状态：当真空室达到1.3×10-3 Pa压强时，平均压强为：;计算前级泵真空管路;计算抽气时间