天文学用mems可変形镜开発.pptVIP

天文学用MEMS可変形鏡の開発 大屋　真 (国立天文台ハワイ観測所) アウトライン 補償光学装置(AO)と形状可変形鏡(DM) AO用MEMS-DM 次世代MEMS-DM開発に向けて 補償光学装置と形状可変形鏡 補償光学装置とは 光波面の歪みをリアルタイムで 補正して回折限界像を取得 天文学と眼科医療で応用が盛ん w/o AO w/ AO 網膜 海王星 w/ AO w/o AO w/ AO w/o AO 形状可変鏡 (Deformable Mirror; DM) ピエゾ　(最もよく使われている) 磁歪 電磁石 天文用では一般的ではないが、次の様な方式もある 透過型: 液晶位相板 透過率や偏光特性が問題 熱変形 特に赤外波長では背景雑音になる 液体 安定性? ピエゾDMの代表例 積層アクチュエータ バイモルフ AO用MEMS-DM なぜMEMS-DM? ピエゾ　 MEMS 大きさ 大きい 素子間隔: 5 mm (64x64素子: 300mm□) 小さい 素子間隔: 1 mm (64x64素子: 60mm□) 重さ 重い (特に積層アクチュエータ) 50kg 軽い (CPUチップ程度) 100g 価格 $1,000 / actuator $100 / actuator ヒステリシス 5% 0.1% ストローク (変形量) 大きい 10 mm 小さい 10 mm