Q_230088RS02-2019硅片搬运设备企业标准.pdf

合肥瑞硕科技有限公司企业标准 Q/RS 002-2019 硅片搬运设备 2019-03-20 发布 2019-04-01 实施 合 肥 瑞 硕 科 技 有 限 公 司 发 布 1 本标准根据GB/T 1.1-2009 给出的规格起草。 本标准由合肥瑞硕科技有限公司提出。 本标准由合肥瑞硕科技有限公司起草。 本标准主要起草人：林宏俊、苏文章、韩林军 丁辉 2 硅片搬运设备 1.范围 本标准规定了硅片搬运设备的术语与定义、产品组成和型号命名、检验要求、 使用说明书、标志、包装、运输、储存。 本标准适用于硅片搬运设备。 2. 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。下列文件对于本文件的应用是必 不可少的凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日 期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB/T 4768-2008 防霉包装 GB/T 4879-2016 防锈包装 JB/T 8853-2001 减速机 GB 5266.1-2008 机械安全工业机械电气设备第1 部分，通用技术条件 GB/T 786.1-2009 流体传动系统及元件图形符号和回路图 GB/T 4942.1-2006 旋转电机整体结构的防护等级（IP 代码）分级 GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1 部分:通用技术条件 3.产品和载具信息 衬底规格：长：108.5/125.5 +1/-4mm 宽：108.5/125.5 +1/-4mm 厚：0.5~0.8mm 衬底编码：二维码，位于衬底背面的中心区域，范围30*30mm。 3 4.上游设备接口 a) 花篮由AGV 放置到该设备的上料位置。 b) 设备具备AGV 视觉识别的标识（需与AGV 厂商确定所需标识）。 c) 设备上缓存花篮数量可根据供需双方的协商确定。 5.下游设备接口 a) AGV 每小时取20 个花篮，平均每15 分钟取5 个。 b) AGV 取花篮水平高度900mm。 6.设备规格 序号 性能 1 工作范围 6410*2700*2892 （可根据客户要求更改） 2 最大单轴速度 X 轴：500mm/s；Y 轴500mm/s；Z 轴：500mm/s； 3 重复定位精度 ±0.1mm 4 工作节拍 ≥1000UPH 5 Cassette 容量 25pcs/40pcs/80pcs （可根据客户要求更改） 7.机械结构 4 动作顺序： a) AGV 将CST 放至指定的传送带上，CST 传送至放倒工位后，经定位放倒后， CST 会倒在平台上。 b) 三轴机械手将平台上的CST 抓起，放至格子中。 c) 每个格子中都有定位咬合机构，保证CST 在格子中处于固定状态。 8.型号 RSKJ-CS-80 RSKJ瑞硕科技简称 CS仓储类设备 80花篮容量 实例：RSKJ-CS-80:适用仓储类设备，自动存放，其花篮容量为80 片。可根据 供需双方的协商生产出其他规格产品。 9.要求 9.1 一般要求 9.1.1 制造与验收时应符合本标准规定。 9.1.2 外购件与配套件应符合相应的产品标准。