现代传感器发展方向孙圣和.pdfVIP

23 　 1 Vo l.23　N o.1 　2009 1 J OUR N A L OF EL E CTRO N I C ME A S URE ME N T A N D I N S TR UME N T ·　　　　1 · 孙圣和 (, 150001) 　:, 。 , 、、 9 :、、MEMS 、、 、、、, 。 :;MEMS ;;; :TP212 :A :460.4025 Development trend of modern sensor Sun Shenghe (Harbin Institute of T echnolog , Harbin 15000 1, China) Abstract:Sensor is the source of i