磁控溅射沉积BCx薄膜的摩擦学性能.pdfVIP

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  • 2019-10-30 发布于湖北
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第 卷第 期 中 国 表 面 工 程 28 5 Vol.28 No.5           年 月 2015 10 CHINA SURFACEENGINEERING October 2015         : / doi 10.11933 .issn.1007 9289.2015.05.003 j - 磁控溅射沉积BC 薄膜的摩擦学性能* x , , , 尚伦霖 王立平 张广安 蒲吉斌

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