薄膜制备的真空技术基础.pdfVIP

仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 1/31 仅供学生学习参考，请勿扩散 1/31 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 主要历史 • D um 膜： 材料，厚膜、薄膜 ，本课程关注固态基 2 1 片的固态膜 • 分散、凝结、形核、长大 （物理、化学变化，涉 及材料学、物理学、化学等各个领域） • 17世纪，Newton研究薄膜干涉 • 19世纪，法拉第发明电镀技术，Grove发现辉光放 电溅射沉积 • 20世纪，Edision通电导线蒸发镀膜 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 2/31 仅供学生学习参考，请勿扩散 2/31 科技创造未来，材料改变世界 火 改性材料 创制材料 天然材料 改制材料 波膜材料 材料是能为人类经济地、用于制造有用物品的物质 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 3/31 仅供学生学习参考，请勿扩散 3/31 课程的性质 1、早期的薄膜技术主要用于表面防护和镜面领域，重复性差。 2、随着真空技术和检测技术的进展（SEM、TEM、XPS、AFM） IC 电子信息技术 的发展，薄膜技术迅速发展。 3、新材料开发，往往起始于新材料的薄膜合成与制备，成为重 要手段之一。 4、薄膜技术、材料渗透到航空航天、医药、能源、交通、通讯 和信息等等高新技术领域，向综合型、智能型、复合型、环境友 好型、纳米化等方向发展。 薄膜材料属于材料科学范畴，研究方法： •合成与制备－》组分与结构－》性质与性能 薄膜材料设计 •薄膜技术建立在真空技术基础上，介绍真空技术基础概念 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 4/31 仅供学生学习参考，请勿扩散 4/31 主要内容 •真空技术基础（4）－》 •薄膜制备化学、物理技术（18）－》 •薄膜形成过程机制（10）－》 • 6 薄膜材料表征（ ）－》 •典型薄膜材料制备及其应用（2+自学） • 第一章 真空技术基础（气体运动状态、真空实现及其测量） • 第二章 薄膜物理气相沉积 • 蒸发法（热蒸发、沉积特点、沉积装置原理） • 溅射法及其它PVD方法（气体放电、等离子体、溅射现象、装置 原理） • 第三章 薄膜化学气相沉积（反应类型、热、动力学、装置原理） • 第四章 薄膜生长过程及其结构（形核理论、生长过程、结构） • 第五章 薄膜材料的表征方法（厚度、结构、成分、结合力） 仅供学生学习参考，请勿扩散 薄膜材料与技术，授课教师：张卫华 2007 5/31 仅供学生学习参考，请勿扩散 5/31 第一章 薄膜制备的真空技术基础 1、气体分子运动的基本概念 • 气体分子的运动速度及其分布