2--第二讲--薄膜材料物理--第一章薄膜的形成说课讲解.pptVIP

第二讲 第一章薄膜的形成 第一章 薄膜的形成 第二讲 §1.3 成核理论 包括： 微滴理论——热力学方法 原子理论——统计物理学方法 2、原子理论 当原子数100个以上的微滴，其表面能和自由能可以用块状材料的相应数值。当小于100个以下，甚至几个原子的微滴时，需用原子理论。 1924年,弗仑凯尔(Frenkel)提出成核理论原子模型 物理模型： 临界核 最小稳定核 结合能 4-7个 原子团 4-7个 原子团 临界核和最小 稳定核随基片 温度的变化。 T1 T2 T3 T (111)//基片表面 (100)//基片表面 4-7个 原子团 E2 E3= 2E2 E4= 4E2~5E2 E4= 6E2 E5= 8E2 当基片表面吸附弱而三个原子团被吸附的不牢时，动态平衡却有利于四原子结构→(100)//基片表面 结论：当原子团达到四原子以后，其结构有两种： 平面结构、角锥结构。 E2EP时→形成三角锥结构 2E2EP时→可能形成四角锥结构 E2EP时→形成平面结构 对于在金属基片上沉积金属，一般其临界核的体积大约为7个原子（不超过）。 成核速率∝临界核密度×每个核的捕获范围×吸附 原子向临界核的总速度 ※由统计理论，临界核密度: 两种成核理论的对比： 微滴理论（毛细作用理论）—热力学—凝结论，适用于描述大的临界核，可用热力学参数. 原子理论—统计物理学—原子成核与生长模型，适用于描述小的临界核. §1.4 凝结系数 凝结：吸附原子结合成对及其以后的过程. 凝结系数： §1.5 薄膜的形成 薄膜的形成顺序： 薄膜的形成过程分四个阶段： 小岛成核，结合，沟道，连续薄膜 ①小岛阶段—成核和核长大 透射电镜观察：大小一致(2-3nm)的核突 然出现.平行基片平面的两维大于垂直方向 的第三维。 说明：核生长以吸附单体在基片表面的扩散， 不是由于气相原子的直接接触。 小岛成核 核长大 结合 孔洞 连续膜 沟道 ②结合阶段 两个圆形核结合时间小于0.1s,并且结合后增大了高度，减少了在基片所占的总面积。而新出现的基片面积上会发生二次成核，复结合后的复合岛若有足够时间，可形成晶体形状，多为六角形。核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散（以表面扩散为主）以便表面能降低。 核结合时的传质机理是体扩散和表面扩散（以表面扩散为主）以便表面能降低。在结合之初，为了降低表面能，新岛的面积减少，高度增加。根据基片、小岛的表面能和界面能，小岛将有一个最低 能量沟形，该形状具有一定的高经比。 ③沟道阶段 圆形的岛在进一步结合处，才继续发生大的变形→岛被拉长，从而连接成网状结构的薄膜，在这种结构中遍布不规则的窄长沟道，其宽度约为5-20nm，沟道内发生三次成核，其结合效应是消除表面曲率区，以使生成的总表面能为最小。 ④连续薄膜 小岛结合，岛的取向会发生显著的变化，并有些再结晶的现象。沟道内二次或三次成核并结合，以及网状结构生长→连续薄膜 §1.6 薄膜的结构 组织结构 晶体结构—薄膜中微晶的晶型 1.6.1 组织结构 ※无定形结构—无序结构，近程有序， 远程无序。 类无定形结构—极其微小的(2nm)晶粒且无规则排列。高熔点金属薄膜、高熔点非金属化合物薄膜、碳硅锗的某些化合物薄膜，以及两不相容材料的共沉薄膜。 ※多晶结构—无规取向的微晶组成，晶粒10-100nm 低熔点金属薄膜。 ※纤维结构—晶粒有择优取向的薄膜。 单重纤维结构—各微晶只在一个方向择优取向。 双重纤维结构—各微晶在两个方向择优取向。 各种压电微晶薄膜。 纤维结构的出现可以在成核阶段，生长阶 段, 也可以在退火过程中。 ※※单晶结构—多在外延中形成。外延膜，各种半导 体外延膜。 在一定条件下，薄膜的组织结构可能发生变化， 如：从无序到多晶态。伴随着组织结构的转变， 薄膜的性能有显著变化。 1.6.2 晶体结构 大多数情况下，薄膜中微晶的晶体结构与块材的相同，只是晶粒取向和晶粒尺寸可能不同于块材。 晶格不匹配：薄膜材料的晶格常数与基片的不匹配。 薄膜中有较大的内应力和表面张力。 在界面处，晶格发生畸变，以便于与基片相配合。 af—薄膜原材料的晶格常数；