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第六章 电动势式传感器 第六章 电动势式传感器 6.1 磁电式传感器 磁电式传感器是一种利用电磁感应原理，将运动速度转换成线圈中的感应电动势输出的传感器。 一．工作原理 电磁感应定律 感应电动势与线圈对磁场的相对运动线速度或角速度成正比，因此磁电式传感器用于测量线速度与角速度。 在测量电路中接入微分或积分电路则可用来测量运动的位移和加速度。 二．传感器的灵敏度 三． 测量电路 四．应用举例 1．振动速度传感器 2．直流测速发电机 它的结构类似小型直流电机，大多采用永磁励磁方式，其输出直流电压为 一般的直流伺服电机虽然结构与测速电机相同，但由于测量误差较大，在测量精度要求较高时不能用作测速发电机 没有相位误差，但结构复杂、价格贵、会产生高频干扰 3．交流测速发机 4．磁电式转速传感器 输出频率 5．电磁流量计 因为 所以 6.2 压电晶体传感器 压电传感是以某些物质的压电效应为基础的一种有源传感器。在外力作用下，某些物质变形后其表面会产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感器尺寸小，重量轻，工作频率宽，可测量变化很快的动态压力、加速度、振动等。 一．压电效应 某些电介质物质，当沿一定方向受到外力作用而变形时，在它的两个表面会产生符号相反的电荷；当将外力去掉后，又重新回到不带电状态，这种现象称为压电效应。 x y F ++++ ++++ - - - - - - - - x y ++++ ++++ - - - - - - - - F x y - - - - - - - - ++++ ++++ F x y ++++ ++++ - - - - - - - - F 沿X轴方向受压力 沿X轴方向受拉力 沿Y轴方向受压力 沿Y轴方向受拉力 晶片上电荷的极性与受力方向的关系 二．压电材料 1．压电晶体 石英晶体（SiO2），铌酸锂(LiNbO3)，钽酸锂(LiTaO3)，锗酸锂(LiGeO3) 2．压电陶瓷 钛酸钡（BaTiO3），锆钛酸钡（PZT）等 聚二氟乙烯（PVF2）高分子压电材料 未极化时，电畴排列杂乱无章。呈中性，不具有压电性质。 在施加外电场时，电畴转到与外电场一致。 + + + + + + + + + + + + + + - - - - - - - - - - - - - - 极化后，两端出现束缚电荷，吸引一层外来电荷，因而仍呈中性。在外力的作用下，极化电畴变化使两极板上电荷变化。 三．压电传感器的等效电路 1. 压电传感器的等效电路 2. 压电晶片的连接方式 串联 并联 四．压电传感器的测量电路（前置放大器） 1. 电压放大器 采用电压放大器要考虑的两个主要问题 （1）输入电阻要大 电路的时间常数是由等效电阻及等效电容来决定的 　前置放大器有两个作用： 　 (1) 放大传感器输出的微弱信号； 　 (2) 将传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 （2） 测量系统的灵敏度与连接电缆的分布电容有关 传感器的输出电压或电压放大器的输入电压 可见，当改变连接传感器与前置放大器的电缆长度时，CC 将改变，ui 也随之变化，从而使整个测量系统的输出电压与电缆电容有关 为了保证测量系统有一定的带宽，要求输入电阻一定要大 2、电荷放大器 电荷放大器是一个有反馈电容的高增益运算放大器 在不考虑电荷泄漏的情况下（不考虑电阻） 在电荷放大器中，输出电压与电缆电容无关，只与电荷成正比，这是电荷放大器的突出优点 电路的时间常数是由等效电阻及等效电容来决定的 与使用电压放大器相比时间常数要大得多，对输入电阻的要求相对降低 五．应用举例 1．压电加速度传感器 2．压电式压力传感器 3．基于压电效应的超声波传感器 (1) 探伤 (2) 侧厚 (3) 检测材料 6.3 霍尔传感器 一．霍尔元件的基本工作原理 1．半导体材料的霍尔效应 在图中所示的半导体薄片两端通以电流I，并在薄片的垂直方向上施加磁感应强度为B的磁场，那么，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电势EH（称为霍尔电动势）。这种现象成为霍尔效应。 2．工作原理 3. 基本电路 二． 霍尔元件的测量误差及其补偿 1．不等位电势及其补偿 当磁场为零时输出电压应该为零，如果此时输出电压不为零，即意味着存在着一个零位误差 不等位电势。 第六章 电动势式传感器