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第十五章 电子探针显微分析 电子探针的原理 电子探针仪的结构 波谱仪(WDS) 能谱仪(EDS) 电子探针仪分析方法 电子探针的原理 用细聚焦电子束入射样品表面，激发出样品中各元素的特征（标识） X射线： 定性分析分析特征X射线的波长（或特征能量），得到元素的种类； 定量分析－分析特征X射线的强度，得到样品中相应元素的含量 电子探针仪的结构 电子探针仪主要由电子光学系统、X射线谱仪、样品室、扫描显示系统、计算机与自动控制系统、真空系统及一些必要的附件组成。 结构示意图。 电子探针仪常与扫描电镜组合在一起。 电子探针的信号检测系统是X射线谱仪： 波长分散谱仪（WDS），简称波谱仪，用来测定特征X射线波长； 波谱仪（WDS） 组成：波谱仪主要由分光晶体和X射线检测系统组成。 原理：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。通过连续地改变?，就可以在与X射线入射方向呈2 ?的位置上测到不同波长的特征X射线信号。根据莫塞莱定律 可确定被测物质所含有的元素 。 为了提高接收X射线强度，分光晶体通常使用弯曲晶体。 弯曲分光晶体有两种聚焦方式： 约翰型聚焦法：晶体曲率半径是聚焦圆半径的两倍； 约翰逊型聚焦法：晶体曲率半径和聚焦圆半径相等 波谱谱线图 能谱仪（EDS） 能谱仪的关键部件是锂漂移硅半导体探