第2章 电阻式传感器1.pptVIP

* * 第2章 电阻式传感器 （应变式传感器 ） 2.1 工作原理 2.2 应变片的种类、 材料及粘贴 2.3 电阻应变片的特性 2.4 电阻应变片的测量电路 2.5 应变式传感器的应用 A3钢的 σ-ε曲线 低碳钢（如A3钢）是工程上使用较广泛的材料，同时，它在拉伸过程中所表现的机械性质具有一定的代表性，所以常常把它作为重点研究。 从A3钢的σ-ε曲线可以看出材料的一些特性。 ε = ΔL/L 低碳钢拉伸实验的整个过程，大致可分为四个阶段： l）弹性阶段 2）屈服阶段 3）强化阶段 4）颈缩阶段 在弹性阶段内，oa段可以认为是直线的部分，这段直 线的最高点a对应的应力值σp，称为材料的比例极限，它是 纵应变ε与正应力σ成正比的应力最高限。 σ =Eε 在比例阶段内，试件的应力 应变关系符合虎克定律。 胡克定律 2.1 工 作原理 电阻应变片的工作原理是基于应变效应，即导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时，其电阻值相应发生变化，这种现象称为“应变效应”。（1856年W. Thomson 发现） 如图3 - 1所示，一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为 （2-1） 式中： ρ——电阻丝的电阻率； l——电阻丝的长度； A——电阻丝的截面积。 图2-1 金属电阻丝应变效应 当电阻丝受到拉力F作用时，将伸长Δl，横截面积相应减小ΔA，电阻率因材料晶格发生变形等因素影响而改变了dρ，从而引起电阻值相对变化量为 （2-2） 式中：dl/l——长度相对变化量，用应变ε表示为 （2-3） 单位：“微应变”： dA/A——圆形电阻丝的截面积相对变化量，设r为电阻丝的半径，微分后可得dA=2πr dr，则 （2-4） 由材料力学可知，在弹性范围内，金属丝受拉力时，沿轴向伸长， 沿径向缩短， 令dl/l=ε为金属电阻丝的轴向应变，那么轴向应变和径向应变的关系可表示为 式中, μ为电阻丝材料的泊松比， 负号表示应变方向相反。 （2-5） （2-7） 通常把单位应变能引起的电阻值变化称为电阻丝的灵敏系数。其物理意义是单位应变所引起的电阻相对变化量，其表达式为 （2-8） 灵敏系数K国外教材常记为GF(Gauge Factor)。 灵敏系数K受两个因素影响：一个是应变片受力后材料几何尺寸的变化， 即1+2μ；另一个是应变片受力后材料的电阻率发生的变化， 即（dρ/ρ）/ε。对金属材料来说，电阻丝灵敏度系数表达式中1+2μ的值要比(dρ/ρ)/ε大得多，而半导体材料的(dρ/ρ)/ε项的值比1+2μ大得多。大量实验证明，在电阻丝拉伸极限内，电阻的相对变化与应变成正比，即K为常数。 半导体应变片是用半导体材料制成的，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。压阻效应是指半导体材料，当某一轴向受外力作用时， 其电阻率ρ发生变化的现象。 半导体应变片的灵敏系数比金属丝式高50～80倍，但半导体材料的温度系数大，应变时非线性比较严重，使它的应用范围受到一定的限制。 用应变片测量应变或应力时，根据上述特点，在外力作用下，被测对象产生微小机械变形，应变片随着发生相同的变化，同时应变片电阻值也发生相应变化。当测得应变片电阻值变化量为ΔR时，便可得到被测对象的应变值，根据应力与应变的关系，得到应力值σ为 σ=E·ε （2-13） 应变片的优点 1、灵敏度、精确度高，稳定可靠，误差小于1%； 2、尺寸小、重量小、结构简单、使用方便、响应快，对被测对象影响小，静、动测量均可； 3、测量范围大，变形范围1%～20%； 4、适应性强。（高低温、高压、水下、强磁场、辐射环境可用）； 5、便于多点测量、远距离测量。 2.2 应变片的种类、材料及粘贴 2.2.1 电阻应变片的种类 应变片 金属应变片 半导体应变片 薄膜型 体型 箔式 丝式 扩散型 图2-2 金属电阻应变片的结构 敏感栅是应变片的核心部分，它粘贴在绝缘的基片上，其上再粘贴起保护作用的覆盖层，两端焊接引出导线。 丝式金属电阻应变片的敏感栅由直径0.01～0.05mm的电阻丝平行排列而成。 箔式金属电阻应变片是利用光刻、腐蚀等工艺制成的一种很薄的金属箔栅，其厚度一般为0.003~0.01mm，可制成各种形状的敏感栅（即应变花），其优点是表面积和截面积之比大，散热性能好，允许通过的电流较大，可制