第07章 压电式传感器.pptVIP

正压电效应 某些物质沿一定方向受压力或拉力作用而发生改变时，在其表面上会产生电荷；若将外力去掉时，它们又重新回到不带电状态，这种现象称为正压电效应。 逆压电效应 在压电材料的两个电极面上，加以交流电压，压电片能产生机械振动，即压电片在电极方向上有伸缩的现象，压电材料的这种现象称为“电致伸缩效应”，也叫做“逆压电效应”。 石英晶体压电效应演示 式中x、y、z是与晶轴关连的直角坐标系。 式中 d12—石英晶体在y—y轴方向受力时的压电系数； ly，lx—石英切片的长和厚。 压电材料的主要特性参数 压电元件材料一般有三类： (1) 单晶压电晶体（如上述石英晶体） (2) 多晶压电陶瓷 (3) 新型压电材料 --- 压电半导体 --- 高分子压电材料 1. 石英晶体 一种天然晶体，压电系数d11＝2.31×10-12C/N； 莫氏硬度为7、熔点为1750℃、膨胀系数仅为钢的1/30。 优点： 转换效率和转换精度高、线性范围宽、重复性好、固有频率高、动态特性好、工作温度高达550℃(压电系数不随温度而改变)、工作湿度高达100%、稳定性好。 1. 石英晶体 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 石英晶体振荡器（晶振） 石英晶体在振荡电路中工作时，压电效应与逆压电效应交替作用，从而产生稳定的振荡输出频率 2. 压电陶瓷 人工制造的多晶体，压电机理与压电晶体不同。 常见压电陶瓷 (1) 钛酸钡(BaTiO3)压电陶瓷 具有较高的压电系数和介电常数，机械强度不如石英 (2) 锆钛酸铅Pb(Zr·Ti)O3系压电陶瓷(PZT) 压电系数较高，各项机电参数随温度、时间等外界条件变化小，在锆钛酸铅基方中添加一两种微量元素，可以获得不同性能的PZT材料。 (3) 铌镁酸铅Pb(MgNb)O3-PbTiO3-PbZrO3压电陶瓷(PMN) 具有较高的压电系数，在压力大至700kg/cm2仍能继续工作，可作为高温力传感器。 压电陶瓷外形 3. 新型压电材料 (1) 压电半导体材料 压电半导体材料有硫化锌( ZnS)、碲化镉(CdTe)、氧化锌(ZnO)、硫化镉(CdS)、碲化锌(ZnTe)和砷化镓(GaAs)等。这种力敏器件具有灵敏度高，响应时间短等优点。此外用ZnO作为表面声波振荡器的压电材料，可检测力和温度等参数。 (2) 高分子压电材料 典型的高分子压电材料有聚偏二氟乙烯(PVF2或PVDF)、聚氟乙烯(PVF)、改性聚氯乙烯(PVC)等。它是一种柔软压电材料，可根据需要制成薄膜或电缆套管等形状。它不易破碎，具有防水性，可以大量连续拉制，制成较大面积或较长尺度，价格便宜，频率响应范围较宽，测量动态范围可达80dB。 高分子压电薄膜及拉制 高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 压电式脚踏报警器 高分子压电薄膜制作的压电喇叭 (1) 压电元件的基本变形 (2) 双晶片元件 (1) 压电元件的基本变形 1、厚度变形（TE方式） 2、长度变形（LE方式） 3、面剪切变形（FS方式） 4、厚度剪切变形（TS方式） 5、弯曲变形（BS方式） (2) 双晶片元件 实际使用中，采用单片压电片工作要产生足够表面电荷就需很大作用力，但测量粗糙度和微压差时所提供的力很小，因此为了提高其灵敏度，通常是把两片或两片以上同型号的压电元件粘贴在一起。由于压电晶片有电荷极性，因此连接方式有并联和串联两种形式。 两个压电片的联结方式 压电式传感器要求负载电阻RL必须有很大的数值，才能保证测量误差较小。 因此常先接入一个高输入阻抗的前置放大器，然后再接一般的放大电路及其它电路。 测量电路关键在于高输入阻抗的前置放大器。 前置放大器两个作用： 把压电式传感器的微弱信号放大； 把传感器的高阻抗输出变换为低阻抗输出。 1、电压放大器 传感器的低频响应范围 如果被测物理量是缓慢变化的动态量，而测量回路的时间常数又不大，则造成传感器灵敏度下降。因此为了扩大传感器的低频响应范围，就必须尽量提高回路的时间常数。 但这不能靠增加测量回路的电容量来提高时间常数，因为传感器的电压灵敏度与电容成反比的，切实可行的办法是提高测量回路的电阻。由于传感器本身的绝缘电阻一般都很大，所以测量回路的电阻主要取决于前置放大器的输入电阻。放大器的输入电阻越大，测量回路的时间常数就越大，传感器的低频响应也就越好。 电压放大器应用限制 压电式传感器在与电压放大