聚酰亚胺电容型湿度传感器的研究的报告.pptVIP

赵婷 2016年2月1日 摘要 湿度的测量不仅应用于日常生活，在工业生产、医疗、农业、气象分析、航天航空等领域也有广泛应用。随着科技的发展，人们熟知的毛发湿度计、露点湿度计、干湿球湿度计等已不能满足现代科技发展的实际需要，湿度传感器正在从简单的湿敏元件向智能化、集成化、多参数检测方向改进，使用集成电路制造技术制备的湿度传感器具有价格低、精度高、稳定性好的优点。 一.电容型湿度传感器介绍 （一）湿度传感器结构 湿度传感器是将环境湿度变换为电信号的装置，由湿敏元件和转换电路等组成。电容型湿度传感器主要利用感湿介质层吸水后介电常数发生变化，从而使器件的电容发生相应的变化，此类传感器工艺简单、性能稳定、响应时间短、不易受外界噪声或大气污染的影响。按结构分为两种： 叉指型电容湿度传感器 三明治型电容湿度传感器 1、叉指型电容湿度传感器 交叉指状的金属条构成了电容器的两个电极，金属条之间的空隙暴露在空气中。由于空气的介电常数随大气中相对湿度发生变化，所以器件电容值将随之变化。 2. 三明治型电容湿度传感器 如图1-2为三明治型电容湿度传感器的结构示意图，这种结构传感器在工艺上较容易把介质层做的比较薄，即其上下电极的距离较短，从而提高器件的灵敏度。 聚酰亚胺（(polyimide, PI）的主要感湿成分为其原体聚酰胺酸中没有亚胺化的羧基 (-COOH)，而聚酰亚胺中剩余的羧基数量与亚胺化温度和时间有关，由此表现出不同的灵敏度。 聚酰亚胺涂敷在二氧化硅表面后形成带负电的薄膜，当环境中水汽浓度变化时，聚酰亚胺膜吸附水分子量随之变化。聚酰亚胺自身介电常数很小，水的介电常数很大，当聚酰亚胺吸收水分子后，引入了强极性分子，在外电场作用的情况下，容易发生极化，导致感湿膜的偶极矩增加。在外电场不变的情况下，湿度越大，水分子形成的偶极矩分子越多，感湿膜吸附水分子就增加，导致其内偶极矩增加，宏观上表现出介电常数的增大。 （二）聚酰亚胺的感湿机理 利用这一特性，把传感器制作成平行板电容器的结构，通过对电容的测量来计算环境中的相对湿度。湿度传感器的电容可以根据平行板电容器电容公式来计算 从上式可看出，在非高湿度时，复合介电常数与相对湿度x近似成比例关系。 复合介电常数与湿度关系图如图1-3所示。将复合介电常数代入式平行板计算公式(1)，可得电容与相对湿度关系，图1-4所示是某一尺寸下平行板电容器与相对湿度曲线图，电容在整个量程的变化量为几十PF。因此可知，在低湿度时，电容变化缓慢，近似成线性关系。 1）湿度量程 湿度传感器能精确测量的湿度的最大范围。湿度量程越大，说明该湿度传感器的使用价值越大，最佳量程为0%-100%RH。 2）湿滞 湿度传感器升湿和降湿时，在同一外界湿度的情况下电容不一致的现象。 3）灵敏度 湿度传感器的电容量随着湿度变化的变化程度。可以用感湿特性曲线的斜率来表示，单位为PF/%RH。 （三）湿度传感器的感湿特征参数 4）响应时间 在所对应的环境湿度范围内，湿敏元件完成吸湿和脱湿所用的时间。 5）线性度 用湿度传感器的电容值随着湿度的变化曲线来衡量的，线性度好的传感器说明其准确性好。 一个良好的湿度传感器应该具有以下的性能： 1、湿度量程大，能探测足够范围的环境湿度值； 2、线性度好，感湿特性量的变化与环境湿度变化呈线性关系； 3、灵敏度高，湿滞小； 4、重复性好，长期多次使用后，仍保持稳定； 5、温度系数小，温度造成的测量误差可忽略； 6、响应时间短，对湿度变化能快速探测。 （一）工艺设计 《A CMOS Interdigital Capacitive Humidity Sensor with Polysilicon Heaters》文中湿度传感器采用标准CMOS工艺制作，如图3-3所示。关于湿度传感器部分工艺步骤如下： （a）在衬底上生长厚0.045um的二氧化硅； （b）淀积厚0.45um的LPCVD多晶硅； （c）淀积厚0.55um的LPCVD二氧化硅，连接孔采用反应离子刻蚀； （d）淀积厚1.2um的电极铝； （e）淀积厚1um的钝化层； （f）刻蚀多余钝化层，形成叉指电极； （g）淀积聚酰亚胺。 三、CMOS电容型湿度传感器工艺与版图 （一）封装工艺 1）室外用的湿度传感器的封装形式 2）手持式封装 四、CMOS电容型湿度传感器封装及性能测试 3）集成封装 （二）性能测试 根据所提特性参数对相对湿度传感器进行测试，采用饱和盐溶液法测试湿度传感器。它是将饱和盐溶液置于封闭的容器中，在给定的温度下，盐溶液达到饱和时，其平衡蒸汽压也将恒定，因而使饱和盐水溶液上方的空间保持恒定湿度。该湿度与盐的种类有关，标定湿