第五章 压电型传感器.pptVIP

第五章 压电型传感器 压电型传感器是一种典型的自发式传感器。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质表面产生电荷，从而实现非电量电测的目的。压电传感元件是力敏元件，它可以测量最终能变换为力的那些非电物理量。例如：力、压力、加速度等，但不能用于静态参数的测量。 压电式传感器具有：①使用频带宽；②灵敏度高；③信噪比高；④结构简单；⑤工作可靠；⑥质量轻等。 第一节 压电效应 第二节 石英晶体的压电效应 第三节 压电陶瓷的压电效应 第四节 压电元件的等效电路和电荷放大器 第五节 压电型传感器应用 第六节 压电型传感器综合训练 第一节 压电效应 以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理。按转换方式可以分为正压电效应和逆压电效应。 某些电介质物质在沿一定方向上受到外力的作用变形时，内部会产生极化现象，同时在其表面上产生电荷，当外力去掉后，又重新回到不带电的状态，这种形象称为压电效应。 特点：自发电；可逆。两种重要性能。 一、压电效应原理 一般将具有压电效应的晶体都称压电类晶体，具有压电效应的电介质称为压电材料。各种各样的电介质材料共有须32种晶体点阵，他们在外加电场诱发下都可以极化成偶极矩，其中20种可产生压电转换效应。这是由于压电效应与材料结构中有无对称中心密切相关。将受力前后正负电荷中心不重合的晶体称为无对称中心的晶体，重合的称为有对称中心的晶体。图5-1为晶体压电效应示意图。图5-1(a)中，当晶体不受外力时，晶体正负电荷重心重合，对外不呈现极性，单位体积中极化强度为零；但在外力作用下，晶体形变，正负电荷的重心不再重合，单位体积极化强度不等于0，故晶体对外表现出极性。图5-1(b)中，由于晶体结构中有对称中心，无论有无外力作用，正负电荷重心总重合，不会出现压电效应。所以，晶体结构中有无对称中心是产生电压效应的必备条件。 ? 二、压电材料 一般压电效应材料可以分为压电单晶体材料、压电多晶体材料（又称压电陶瓷）和压电有机材料。 石英晶体（天然和人造）：SiO2(二氧化硅)压电系数的d11=2.31×10-12C/N。加热到几百度不变，产生十分稳定的固有频率fo,承受700～1000Kg/cm2压力。但到575oC时，完全丧失压电性质（居里点）。 压电陶瓷：人造多晶系压电材料，钛酸钡、锆钛酸铅等。钛酸钡压电系数为d33=107×10-11C/N ， BaTiO3压电常数高于石英晶体，但介电常数、机械性能不如石英。 第二节 石英晶体的压电效应 一块完整单晶体，外形都构成一个凸多面体。围成凸多面体的面叫晶面。如图5-2所示。 Z轴是晶体的对称轴，光线沿它通过晶体不产生双折射现象，光轴（中性轴），该轴方向上没有压电效应；X轴：称电轴，垂直于X轴晶面上的压电效应最显著；Y轴：称机械轴，在电场作用下，沿此轴方向的机械变形最显著。 从晶体上切下一个平行六面体（矩形片），让它的三对平行面分别平行于X、Y、Z轴（石英晶体切型中的一种）。 沿X轴加压力产生的压电效应称纵向压电效应，沿Y轴加压力产生的压电效应称横向压电效应。如图5-3所示。 若将X、Y轴方向施加的压力改为拉力，则产生电荷的位置与施加压力时相同，但电荷的符号相反。 第三节 压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是多晶体，每个晶粒有自发极化的电畴，每个单晶粒形成一个自发极化方向一致的小区域即电畴（如图5-6所示）。电畴间边界称畴壁。相邻不同电畴间自发极化强度取向有一定夹角（与晶体结构有关）。刚烧结好的压电陶瓷内的电畴是无规则排列，其总极化强度为0，此时受力则无压电效应。 人工制造的多晶体压电材料，由无数细微的单晶组成。极化方向杂乱无章，压电陶瓷材料整体对外不显极化方向，各向同性。 若让原始的压电陶瓷材料具压电特性，需在一定温度下对它进行极化处理。将这些材料置于外电场作用下，使其中的电畴发生转动，趋向于其本身自发的极化方向与外电场方向一致。极化处理过的压电陶瓷具有良好的压电特性。 如果在压电陶瓷片上加一个与极化方向平行的外力，陶瓷片产生压缩变形，片内束缚电荷之间距离变小，电畴发生偏转，极化强度变小，因此，吸附在其表面的自由电荷，有一部分被释放而呈现放电现象。 由于极化后存在剩余极化强度，同时陶瓷片极化两端出现束缚电荷，一端为正，另一端为负。由于束缚电荷作用，在陶瓷片的极化两端很快吸附一层来自外界的自由电荷，这时，束缚电荷与自由电荷数值相等，极性相反，因此，陶瓷对外不呈现极性。 第四节 压电元件的等效电路和电荷放大器 压电型传感器中的压电元件是