第9章 半导体式传感器(《传感器基础》课件).pptVIP

第9章 半导体式传感器 以半导体敏感元件为核心的半导体传感器，具有灵敏度高、响应速度快、结构简单、体积小、重量轻、成本低、便于集成化和智能化的优点，但是由于特性的分散性、温度不稳定性和易受干扰的缺点，在某些情况下又限制了半导体传感器的应用。 本章将介绍半导体气敏传感器、湿敏传感器、磁敏传感器和离子敏传感器。 9.1 半导体气敏传感器 气敏传感器是一种将检测到的气体成分和浓度转换为电信号的传感器，根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中存在情况有关的信息，从而可以进行检测、监控、报警，还可以通过接口电路与计算机或单片机组成自动检测、控制和报警系统。 气敏传感器的性能必须满足下列条件： (1) 能够检测易爆炸气体的允许浓度、有害气体的允许浓度和其他基准设定浓度，并能及时给出报警、显示和控制信号。 (2) 对被测气体以外的共存气体或物质不敏感。 (3) 性能长期稳定性好、重复性好、动态特性好、响应迅速。 (4) 使用、维护方便，价格便宜等。 9.1.1 半导体气敏传感器的分类 半导体气敏传感器包括用氧化物半导体陶瓷材料作为敏感元件制作的气敏传感器以及用单晶半导体器件制作的气敏传感器，分类如表9-1所示。 按照半导体变化的物理特征，可分为电阻型和非电阻型两类。前者是利用敏感元件吸附气