TCAD工具仿真流程培训讲义.pptVIP

第7章  TCAD工具仿真流程及在ESD防护器件性能评估方面的应用;本章内容 工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程 工艺和器件仿真的基本流程 TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例 ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性 利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估;本章内容 工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程 工艺和器件仿真的基本流程 TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例 ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性 利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估;TCAD仿真工具介绍;TSUPREM4/MEDICI仿真的基本流程:;SILVACO(ATHENA/ATLAS)仿真的基本流程:;;输入输出：;本章内容 工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程 工艺和器件仿真的基本流程 TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例 ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性 利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估;工艺仿真流程;NMOS简易工艺流程;本章内容 工艺和器件TCAD仿真软件的发展历程 工艺和器件仿真的基本流程 TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例 ESD防护器件设计要求及TCAD辅助设计的必要性 利用瞬态仿真对ESD防护器件综合性能的评估;TSUPREM-4/MEDICI的仿真示例 ;