关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿.pdfVIP

第３８卷　第５期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ５ ２０１７年５月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｍａｙ．２０１７ 关节臂式坐标测量机测量力误差分析及补偿 罗　哉，刘　晖，田　，李　冬 （中国计量大学计量测试工程学院　杭州　 ３１００１８） 摘　要：针对接触测量力对关节臂式坐标测量机（ＡＡＣＭＭ）测量精度的影响展开研究。对测量力引起的长度测量误差进行理 论和实验分析，得到测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形是影响关节臂式坐标测量机测头精度的主要因素。建立了关节 臂式坐标测量机测头与被测件的局部变形、测杆的弯曲变形的数学模型，并对测量结果进行了测量力误差补偿。实验结果研究 表明，测量力引起的误差对接触式关节臂式坐标测量机测量精度影响很大。通过本研究成果，可在很大程度上补偿测量力引起 的误差：平均长度测量误差降低８２％左右，最大误差降低约４７ ｍ，有效地提高了关节臂式坐标测量机的测量精度。 μ 关键词：关节臂式坐标测量机；测量力；测杆弯曲变形；误差补偿 中图分类号：ＴＨ７２１　　　文献标识码：Ａ　　国家标准学科分类代码：４６０．４０ Ｅｒｒｏｒａｎａｌｙｓｉｓａｎｄｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｏｒｃｅ ｏｆｔｈｅａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄａｒｍｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ ＬｕｏＺａｉ，ＬｉｕＨｕｉ，ＴｉａｎＫｕｎ，ＬｉＤｏｎｇ （ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ＆ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｉｎａＪｉｌｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ３１００１８，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：ＭｅａｓｕｒｉｎｇａｃｃｕｒａｃｙｏｆＡＡＣＭＭｂａｓｅｄｏｎｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｏｒｃｅｉｓｆｏｃｕｓｅｄｉｎｔｈｉｓｗｏｒｋ．Ｔｈｅｅｒｒｏｒｏｆｌｅｎｇｔｈｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃａｕｓｅｄｂｙ ｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｏｒｃｅｉｓａｎａｌｙｚｅｄｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌｌｙａｎｄｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｌｙ．Ｔｈｅｌｏｃａｌｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｐｒｏｂｅａｎｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｄｏｂｊｅｃｔａｎｄｔｈｅｂｅｎｄｉｎｇ ｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｒｏｄａｒｅｔｈｅｍａｉｎｆａｃｔｏｒｓａｆｆｅｃｔｉｎｇｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆＡＡＣＭＭ．Ｔｈｅｍａｔｈｅｍａｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｓｏｆｔｈｅｌｏｃａｌ ｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄｔｈｅｂｅｎｄｉｎｇｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎｏｆｔｈｅｒｏｄａｒｅｅｓｔａｂｌｉｓｈｅｄ，ｗｉｔｈｗｈｉｃｈｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｒｅｓｕｌｔｓｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄｗｉｔｈｆｏｒｃｅｅｒｒｏｒ． Ｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈｅｅｒｒｏｒｃａｕｓｅｄｂｙｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｏｒｃｅｃａｎｂｅｃｏｍｐｅｎｓａｔｅｄｔｏａｇｒｅａｔｅｘｔｅｎｔ：ｔｈｅａｖｅｒａｇｅｌｅｎｇｔｈｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｉｓｒｅｄｕｃｅｄ ａｂｏｕｔ８２％，ｔｈｅｍａｘｉｍｕｍｅｒｒｏｒｉｓｒｅｄｕｃｅｄｂｙａｂｏｕｔ４７ｕｍ，ｗｈｉｃｈｅｆｆｅｃｔｉｖｅｌｙｉｍｐｒｏｖｅｓｔｈｅｐｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆＡＡＣＣＭ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ａｒｔｉｃｕｌａｔｅｄａｒｍｃｏｏｒｄｉｎａｔｅｍｅａｓｕｒｉｎｇｍａｃｈｉｎｅ（ＡＡＣＭＭ）；ｍｅａｓｕｒｉｎｇｆｏｒｃｅ；ｂｅｎｄｉｎｇｍｏｄｅｌｏｆｒｏｄ；ｅｒｒｏｒｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ 视。测头系统是关节臂式坐标测量机的关键部件，测头 １　引　　言 精度的高低很大程度上决定了关节臂的测量重复性及精 ［５］