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微波等离子体 微波等离子体反应器特点： 微波：为交流能量（信号），通过波导传输，每一种波导 具有一定的特征阻抗 （射频传输线理论） 等离子体的反应器：本质上是具有一定阻抗的负载。 微波等离子体工作要求： 波导特征阻抗=等离子体负载 阻抗。 微波反射波能量将至最低。 微波等离子体反应器发展： 小尺寸共振腔表面波长细等离子体大面 积（体积）表面波等离子体。 微波等离子体反应器结构： ⊙单模谐振腔 R d λ, λ （谐振条件） 谐振腔尺寸: 阻抗匹配: 好，可以不设置附加匹配。 激励电场 单模（单一本征模） 方向：图中电场沿轴向。 状态：驻波 缺点：体积小（？） 电场不均匀〉等离子体空间均匀性差。 应用：放电灯，光谱分析。 石英管 同轴传输线 微波源 同轴耦合天线 R λd λ, 谐振条件： ⊙多模腔 R d λ; λ 谐振腔尺寸: （非谐振） 阻抗匹配: 差，需要附加匹配。 优点：电场较均匀〉等离子体空间均匀性好。 ⊙表面波等离子体（surface microwave plasma,SWP）源 尺寸: R λ （谐振条件），轴向尺寸没有限制 阻抗匹配: 需要设置附加匹配。 激励电场 单模或多模（单一本征模） 状态：行波 优点：大体积，细长 缺点：面积小 应用：气体反应（甲烷乙炔），有害气体处理 侧视图 表面波 行波 顶视图 多管SWP源