激光—CCD实时无接触动态线径测量的研究.pdfVIP

激光—CCD实时无接触动态线径测量的研究.pdf

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52 Vo l . 5 , N o. 2 1997 4 OP T ICS A N D PR ECISIO N EN G IN EERIN G A pr il , 1997 CCD 林棋榕 谢树森 周川钊 李步洪 郑 蔚 李 晖 ( 福建师范大学激光研究所, 福州350007) CCD , , , , : 1 [ 1- 2] CCD [ 3] , : , CCD X , D Z D = ( 1) X , z , , dx Z = - 2 dD D D 1 m, CCD X , CCD 12 m : 110 5 Z 12 2 D 1 Z D ( 2) 12 = 0 . 632 8 , z = 800 m m m - 6 - 3 0. 6328 10 800 10 - 4 D 2 . 05 10 m 12 1 m , 205 m , , , , , , , : , , , , , CCD 2 1P = 3 m W , = 670 nm 1( ) 2( ) , ( 5 . 77 mm , 0 . 88 mm ) CCD , = 16, N A = 0. 25 132 , 1024, 14 CCD T CD D m CCD , , CCD , CCD , , M CS - 98 . 0 . 1

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