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第 卷 第 期 中 国 激 光 ,
４４ ４ Vol．４４ No．４
年 月 ,
２０１７ ４ Aril２０１７
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激光传感器光轴垂直度误差标定方法
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王祎雯 付鲁华 赵 炎 张 恒 曲兴华 刘常杰
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津 ３０００７２
２
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中国计量科学研究院 北京 １０００１３
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摘要 针对高精度复合式测量机中的激光传感器进行了高精度的标定 提出了利用已知底角的双斜面标定块和正
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弦定理标定光轴垂直度误差偏角的方法 分析了影响标定精度的因素 该方法避免了传感器光轴与工作台不垂直
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引入的各个方向的误差 可有效地提高该传感器的测量精度 为更高精度的多传感器复合测量提供了基础
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关键词 传感器 垂直度误差标定 拟合平面斜率 光轴 高精度复合式测量
中图分类号 TH７４１ 文献标识码 A
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doi１０．３７８８CJL２０１７４４．０４１０００２
CalibrationMethodforO ticalAxisPerendicularErrorofLaserSensor
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Wan Yiwen FuLuhua ZhaoYan Zhan Hen QuXinhua LiuChan ie
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１StateKe Laborator o PrecisionMeasurementTechnolo andInstruments TianinUniversit Tianin３０００７２ China
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