行业标准《溅射用钽靶材》编制说明.docVIP

《溅射用钽靶材》行业标准 编制说明（讨论稿） 工作简况 任务来源 1.1根据工信部《关于印发2013年第二批行业标准制修订计划的通知《工信厅科【2013】102号文件》的要求，宁夏东方钽业股份有限公司负责制订行业标准《溅射用钽靶材》。计划号为 2013-0375T -YS,计划完成年限2015年。 1.2本标准所涉及的产品简况 钽具有高熔点、耐腐蚀、化学活性强、冷加工性能及焊接性能优异等特点，所以被广泛用作各种高温结构件、化工防腐、电子原件、光学玻璃镀膜、超导材料等。 由于钽具有优异的化学活性，可以在常温及中温下迅速形成极薄极致密的氧化膜的能力、且生成的氧化膜具有介电常数高和保护作用，因此钽被广泛的用于电容器和半导体领域。随着物理气象沉积和溅射镀膜技术的不断发展完善，钽逐渐的被应用到半导体行业的磁控溅射沉积镀膜领域，随着电子工业的迅猛发展，钽靶材近年来再次领域的应用越来越广泛深入，市场逐年扩大。 随着磁控溅射镀膜技术的深入发展和半导体行业的迅猛发展，钽靶材在此领域的应用越来越广泛，市场需求越来越大。但是，由于磁控溅射用钽靶材的特殊技术特点和严格的要求，目前多采用技术协议的形式进行生产供应，国内外没有钽靶材的相关标准，这样造成了供货的不规范性，在一定程度上限制了钽靶材的生产、供应和发展。基于以上事实，所以急切并迫切需要建立钽靶材的行业标准，以规范钽靶材的生产、供应的技术要求，使此产品趋于良性发展。 1.3起草单位情况和主要工作过程 1.3.1起草单位情况 宁夏东方钽业股份有限公司是集科研、生产与技术开发为一体的国有大型稀有金属企业，是国内最大的钽、铌产品生产基地，科技先导型钽、铌研究中心；是国家重点高新技术企业、国家首批创新型企业、国家863成果产业化基地、全国专利工作试点企业和国家级企业技术中心，是世界钽工业三强之一。 公司在钽、铌及其合金技术领域具有雄厚的研发实力，在国内同行业中处于技术领先地位。其综合实力代表了我国钽、铌工业的整体水平，是我国国防、核能、宇航、电子、冶金、半导体和化工工业等高新技术领域里的一个极为重要的集稀有金属材料研发、成果转化为一体的综合基地。几十年来承担了我国钽铌特种金属材料领域绝大部分国家级科研和产业化项目，60多项成果获国家级、省部级科技进步奖。宁夏东方钽业股份有限公司年生产钽靶材的能力为20多吨，在行业内占有较重要的地位，公司在各种钽铌制品的生产、加工、销售、采购等方面积累了大量的数据和经验。 1.3.2主要工作过程 按照任务落实会议精神，本标准起草单位宁夏东方钽业股份有限公司成立了标准编制组，组织专门人员查阅大量相关资料及国内外厂家的产品技术指标和技术条件，了解了钽靶材产品的生产状况、技术指标及应用发展趋势，同时结合公司近15年来在钽靶材生产方面的经验、实际生产水平以及国内外钽靶材的市场需求情况，于2014年7月起草了行业标准《钽靶材》的草稿。 标准编制原则和确定标准主要内容的论据 2.1标准编制原则 本标准按照GB/T1.1《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写规则》的要求进行编写。标准中规定了钽靶材的分类、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存等。具体内容确定遵循以下原则: （一）充分满足市场要求的原则：本标准中涵盖了目前稳定使用的不同高纯级别的钽靶材，并对钽靶材所需要控制的杂质元素的含量进行了严格要求，保证产品纯度上的高要求。 （二）指导生产的原则：由于钽靶材的生产技术和行业内部的特殊性，尚没有统一的生产制造的通用方法，我公司结合近15年的研发及生产，高纯钽铸锭配合采用热锻热轧及特殊的真空热处理的工艺，能够制造出内部组织及织构优异的钽靶材材料，可以进一步的指导及规范市场的制造技术。我公司采用真空电子束多次熔炼技术对钽靶材所使用钽铸锭进行有效提纯，得到高纯钽铸锭，根据客户的不同要求使用不同纯度级别的钽铸锭原料，目前最高纯度级别可以制造5N（99.999%）的钽靶材专用高纯钽铸锭。采用独特的热锻造开坯和热轧工艺可以制造内部组织和织构优异的钽靶材坯料。 加工工业生产，初期的生产规模、技术水平、产品档次和质量状况与发达国家比较相差甚远。自2005年以来，随着公司钽靶材制造技术的不断发展创新，使得我国的钽靶材工业得到了迅速发展，现已达到当今国际水平。随着钽靶材的生产技术发展、应用领域也不断延伸，而作为磁控溅射镀膜技术所使用的钽靶材母体及损耗材料，钽靶材的生产、交易量也急剧增加。然而，在钽靶材的生产、交易中没有相应的标准规范，订货均采用技术协议进行，对生产贸易造成一定的影响，因此制定钽靶材行业标准是非常必要和迫切的，本标准的制定综合考虑了我国钽靶材产业的发展现状，标准内容力争起到指导、促进生产的作用； （三）适用性及先进性原则：本标准的编制综合考虑了适用性及先进性原则。对于各种纯度级