玻璃基板的上浮搬运模组.pdfVIP

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2019-12-01 发布于天津
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玻璃基板的上浮搬运模组.pdf

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生产线革新提高产品品质、成品率。玻璃基板的上浮搬运模组 GFM Series GLASS FLOAT MODULE CC-883C 4 进一步发展的无接触、清洁、安全搬运的最新CKD上浮系统、上浮搬运模组GFM系列。通过采用新材料，大幅减少耗气量，并抑制静电和粒子的产生，从而实现高品质的上浮系统。从玻璃基板等的搬运到工序、产品检查，都适用于基板的上浮以及高精度上浮。最适用于轴环的搬运。最适用于普通搬运。高上浮导轨 GFM-T Series 最适合微调工序。微调上浮盘 GFM-A 最适用于高精度搬运以及装载、卸载等。上浮导轨(标准型) GFM-RS Series 最适用于搬运工序。最适用于搬运工序。上浮导轨(通用型) GFM-RF Series 上浮系统、上浮搬运模组最适用于各种工序最适用于各种工序。精密上浮台 GFM-P 无接触且稳定的高精度上浮最适用于高灵敏度检查通过采用新型多孔物质，实现稳定的上浮，采用黑色实体，无散射，同时也减少了耗气量。提高了工件的视觉确认性。（GFM-T 除外）防止工件带静电丰富的应用通过防静电的新材料抑制静电。我们提供最适合于上浮用途的空压元件（GFM-T 除外）方案。等级达到 10级通过新型多孔物质，抑制上浮空气的粒子。 ※本公司对 GFM 系列的测试相当于 JIS B 9920 的等级4 ，测量值中也包含大于 0.5 μm 的粒径。（GFM-T 除外） ■GFM产品系列机种系列主要用途上浮量[μm] 耗气量/min(abs)(0.1 MPa时) ※1 页 0 5 10 15 20 3 10 GFM-A 定位 10 μm以上