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第6章 真空蒸镀.pptx

第6章 真空蒸镀.pptx

    第六章 真空蒸镀;真空蒸发镀膜： 把装有基片的真空室抽成真空，使气压达到10-2Pa以下，然后加热蒸发源中的镀料，使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到基片表面，凝结形成固态薄膜。 ;3;蒸发镀膜概述;5;6;7;8;9;10;11;12;13;14;15;16;17;18;19;20;21;22;23;24;25;26;27;28;29;30;31;32;33;34;35;36;37;38;39

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