MEMS惯性导航传感器.pptVIP

MEMS惯性导航传感器 背景 对大多数导航应用而言，精度并不是最重要的因素，在满足精度的前提下，尽可能降低成本、缩小体积才最重要。MEMS惯性传感器在民用市场已得到广泛应用，在战术级的导航中也开始逐渐应用，这主要受益于利用科里奥利效应制造的各种类型的MEMS 陀螺。目前还没有达到战术级应用的环形激光陀螺和光纤陀螺的精度水平，但MEMS 惯性传感器深具潜力。 1.位移式MEMS加速度计 图为典型的垂向位移式MEMS 加速度计，铰接的摆式质量元件悬挂在玻璃衬底的挠性弹簧上，当有加速度时，该元件可垂直于平面转动。通过检测位于绝缘衬底上2 个电极间电容的变化即可检测加速度。在1g 加速度作用下，质量元件转动角度约为70 μrad，也就是电极间距离发生3 × 10 － 8m 的变化，电容变化为12fF ( 10 － 15F 变化) 。对于100 μg ～15 g 动态范围，要求电极间距离变化分辨率达到3 ×10 － 12m，或者22. 5 个电子充电的变化。 图3 为典型平面式位移加速度计，通过检测梳状手指间的电容变化测量质量元件的位移。这种加速度计对平面( 横向) 方向的加速度比对垂向的加速度更加敏感。垂向和横向的加速度计可以组合成三轴加速度计。 图4 为隧道加速度计的概略图。控制电极通过静电作用使悬臂转向隧道位置( ＜ 1 um，约20 V) 。伺服机