《抽气时间与压强的计算》.pptVIP

抽气时间与压强的计算;抽气时间与压强的计算;真空系统最主要的性能参数： 极限真空度：是指在没有外加负荷的情况下，经过足够长时间的抽气后，系统所能达到的最低压力。 有效抽速：是指在容器出口处的压力下，单位时间内真空系统能够从被抽容器中所抽除的气体体积。真空系统对容器的有效抽速不仅取决于真空泵的抽速，也取决于真空系统管路对气体的导通性能，即所说的流导。 抽气时间：是指从大气压抽空到所需压强为止的时间。;真空系统抽气的亚稳态流动条件： 真空系统在抽到所需要的真空度之前，都处于压强逐渐降低的过程中，即系统内的压力随时间变化。这一过程属于非稳态过程，其中的气体流动属于非稳定流动。当抽除的气体流量等于系统中的放气流量时，系统内各处的压强不在变化，即稳定流动。 计算抽气时间一般指从大气压开始抽空到所需压强为止的时间，这一过程属于非稳定流动过程，需要求解复杂的微分方程，比较困难，因此人们把满足一定条件的非稳定流动近似看做为稳定流动来计算，称为亚稳态流动。;如果真空系统满足以下两个条件，抽气过程为亚稳定流动的过程。 （1）容器的容积大于管道的容积。 （2）抽气过程进行的很慢。 ;泵的有效抽速 如果用Se来表示真空系统对容器的有效抽速，用Sp表示真空泵的抽速，C表示真空容器出口到真空泵入口之间管路的流导，则有 ;有效抽速小于泵的抽速，也小于管道的流导 如果管路的流导C远大于泵的抽速Sp，则Sp /C的值远小于1，此时真空系统对容器的有效抽速Se≈ Sp 。这就是说为了充分发挥泵对容器的抽气作用，在设计真空系统管路时，应使管路的流导尽可能大一些。因此真空管路应该粗而短，切不可细而长。这是设计连接管道时的一条重要原则。 如果管路的流导C远小于泵的抽速Sp，则C/ Sp的值远小于1，此时真空系统对容器的有效抽速Se≈C，这就是说,在这种情况下,选择多大的泵都没有用，都不能提高泵对容器的有效抽速。;;真空系统抽气方程 真空泵的气体负荷主要来自真空室内的各种气体，包括： (1)被抽容器内原有的空间大气。若容器的容积为V m3，抽气初始压强为P0 Pa，则容器内???有的空间大气量为VP0 Pa·m3； (2)被抽容器被抽空后各种材料的放气。单位时间内的放气流量可以用Qf Pa·m3/s来示； 实验表明，材料表面单位时间内单位表面积的放气率q可以用下面的经验公式来计算 ;　式中：q1是抽空1h后放气速率，Pa·m3/(m2·s)；q0是抽空时间无限长之后材料表面的放气速率，Pa·m3/(m2·s)；t是抽空时间，h；是与材料种类及其预处理状况有关的放气时间指数，值在0.5～2之间变化。真空室内暴露于真空下的构件表面可能有多种材料，总的表面放气流量Qf为: 式中：Ai是第i种材料暴露在真空下的表面积，m2；q1i是第i种材料在抽空1h后的表面放气速率， Pa·m3/(m2·s)；βi是第i种材料的放气时间指数；Q0是抽气时间无限长后总的放气流量， Pa·m3/s；t是抽空时间，h。; (3)大气通过容器壁结构材料向真空室内渗透的气体流量Qs ，Pa·m3/s。 (4)液体或固体蒸发的气体流量Qz，Pa·m3/s 。 (5)大气通过各种真空密封的连接处，通过各种漏隙通道泄漏进入真空室的漏气流量QL ，Pa·m3/s 。 ;真空系统的抽气方程 当真空泵启动之后，真空系统即对被抽容器抽气。此时，真空系统对容器的有效抽速若以Se表示，容器中的压力以P表示，则单位时间内系统所排出的气体流量即是SeP。容器中的压强变化率为dP/dt,容器内的气体减少量即是VdP/dt。根据动态平衡，可列出如下方程: 这个方程称为真空系统抽气方程。 ; 式中：V是被抽容器的容积，由于随着抽气时间t的增长，容器内的压力P降低，所以容器内的压强变化率dP/dt是个负值。因而VdP/dt是个负值，这表示容器内的气体减少量。放气流量Qf，渗透气流量Qs，蒸发的气流量Qz和漏气流量QL都是使容器内气体量增多的气流量。SeP则是真空系统将容器内气体抽出的气流量，所以方程中记为- SeP 。 对于设计制造良好的真空系统，放气、渗气、漏气和蒸发的气体流量微小，在抽气初始阶段的气体负荷主要是容器内原有的空间大气。而当抽至1-10-1Pa时，容器中残存的气体主要是漏放气。排气流量大时，漏放气可以忽略，当排出气体主要是漏放气时，抽气过程可能很慢。;低真空抽气时间的计算： 从大气压到0.5Pa范围的抽气为低真空抽气阶段，一般用油封式机械泵和分子筛吸附泵来完成。油封式机械泵在大气压到100Pa范围抽速近似为常数，100-0.5Pa时抽速变化较大，而分子筛吸附泵对氮气的吸附速率近似为常数。所以，