大气压微波等离子体光谱特性.docVIP

第34卷　第4期 2008年11月 大连海事大学学报 JournalofDalianMaritimeUniversity Vol.34　No.4Nov.,　2008 文章编号:100627736(2008)0420091204 大气压微波等离子体光谱特性 解宏端,孙　冰,朱小梅,刘永军 (大连海事大学环境科学与工程学院,辽宁大连　116026) Ξ 摘要:为研究气体组分及微波功率对等离子体特性的影响,光谱的变化规律.:,等,在氩气流量为 4LΠmin,微波输入功率为400W,氧气流量为40cmΠmin 3 言 大气压下微波等离子体内部具有均匀、高密度的高能电子,可促进化学反应顺利进行,因而被广泛应用于难降解的有害气体的脱除 [1-3] 时,激发态氧原子数量达到最大;微波功率的增加首先导致等离子体中的激发态粒子数量增加,进而导致电离态粒子数量增加. 关键词:微波等离子体;光谱强度;激发态粒子中图分类号:O53　　　　　文献标志码:A .工业上产生 [2] 的难降解气体,多数为含碳有机污染物.Radoiu等脱除效率可提高20%.Sheng等 [4] 研究发现,向等离子体脱除C2F6体系中混入氧气, 研究了加入氧气 对等离子体脱除CF4的影响,当氧气体积分数从0增加至20%时,CF4去除率随着氧气添加量的增加而增加,去除率提高了 27.6%.本研究发现,CF4去除率随着氧气添加量的增加先增加后减小,氧气添加量存在最佳值.目前关于这一现象产生的原因,国内外未有深入研究.本文以高纯氩气为工作气体,混合氧气(含微量氮气),在大气压下产生微波等离子体.利用发射光谱法 [5-9] Spectroscopiccharacterizationofmicrowaveplasma underatmosphericpressure XIEHong2duan,SUNBing,ZHUXiao2mei,LIUYong2jun (CollegeofEnvironmentalScienceandEngineering,DalianMaritimeUniversity,Dalian116026,China) Abstract:Spectroscopicintensityofmicrowaveplasmacomposedofmixedgasunderatmosphericpressurewasmeasuredtostudytheinfluenceofgascomponentandmicrowavepowerontheplasmaproperties.Thespectroscopyofexcitedstateoxygenat2ominmicrowaveplasmawasinvestigatedatvariousoperatingconditionsincludingoxygenratioingasmixturesandmicrowavepower.Theexperimentalresultsindicatethatthedensityofex2citedstateoxygenatomincreasesfirstandthendecreaseswithincreasingtheratioofoxygeninargonandoxygengasmixtures,andthedensityofexcitedstateoxygenatomreachesthemaxi2mumvaluewhenmicrowavepoweris400W,thegasflowofargongasandoxygenis4LΠminand40cmΠminrespectively. 3 探测微波等离子体发射光 谱,分析氧气含量变化对等离子体状态的影响,同时研究不同微波功率对等离子体内部各种物质的激发态粒子含量的影响,目的在于深入研究混合气体等离子内部粒子变化的原因和规律,提高和优化氧气在大气压下微波等离子体氧化分解有害气体中的正面促进作用. 1　材料与方法 大气压下微波氩气等离子体发生与光谱检测装置如图1所示.氩气(纯度99.99%)、氧气(纯度99.9%,含微量氮气)流量分别由各自的质量流量 Theincreasingofmicrowavepowerinducesthedensityofexcit2edstateparticlesincreasing,whichleadtothedensityofionizedstateparticlesincreasing. Keywords:microwaveplasma;spectroscopicintensity;excited stateparticles Ξ收稿日期:2008206230. 计(MFC)控制,以向下旋流模式注入石英管反应器. 基金项目: