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超声振动辅助固结磨粒抛光硅片表面形成机理及试验.pdfVIP

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  • 2019-11-30 发布于天津
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超声振动辅助固结磨粒抛光硅片表面形成机理及试验.pdf

    中国机械工程第 卷第 期 年 月上半月 ２７ ２３ ２０１６ １２ 超声振动辅助固结磨粒抛光硅片 表面形成机理及实验 １ １ ２ １ 曾一凡 杨卫平 吴勇波 刘曼利 　 　 　 , , , , 江西农业大学 南昌 日本秋田县立大学 秋田 １． ３３００４５　　２． ０１５００５５ :

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