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PAGE 10 材料科学与工程学院基地班创新和任选实验 论文 高度取向锆钛酸铅铁电薄膜材料 制备及性能优化 姓名： 严岑琪 学号： 200900150260 指导教师： 欧阳俊 日期：2013.1.5 目录 TOC \o 1-3 \h \z \u 一、研究背景简介及研究意义 3 1.1 PZT薄膜研究背景 3 1.2 PZT铁电材料结构 3 1.3 PZT薄膜发展现状及趋势 4 1.4 PZT薄膜研究意义 4 二、研究方法 5 2.1 脉冲激光沉积法 5 2.2 真空蒸发法 5 2.3溶胶—凝胶法 5 2.4 化学气相沉积法 6 2.5 磁控溅射法 6 三、试验用原材料及仪器设备 7 3.1 试验用原材料 7 3.2 试验用仪器设备 7 四、实验步骤 8 4.1 主要研究方法 8 4.1.1 制备工艺流程 8 4.1.2 性能检测 8 4.2 PZT铁电薄膜的制备参数 8 4.3 PZT铁电薄膜的制备过程 8 五、实验结果记录与相关讨论 9 5.1 XRD 9 5.2 电滞回线 11 5.3 漏电电流特性 1