光学非球面的超精密加工技术及非接触检测.pdfVIP

华 南 理 工 大 学 学 报 ( 自 然 科 学 版 ) 第 32 卷 第 2 期 J our n al of Sout h Chi n a U niversit y of Tech n ol ogy V ol . 32 　N o . 2 2004 年 2 月 (N at ur al Science Edit i on) Feb r uary 　2004 文章编号 : 1000 565 X (2004) 02 0094 05 　 光学非球面的超精密加工技术及非接触检测 谢 　晋 (华南理工大学 机械工程学院, 广东 广州 5 10640) 摘 　要 : 针对亚微米级及亚微米级以下的光学硬脆性非球面器件难加工问题 , 分析了光 学非球面的形状精度和应用 ,讨论了其超精密加工原理和方法及非接触检测手段. 结果表 明,精密数控机床 、硬脆性材料延性域加工原理和超精密检测是光学非球面超精密加工的 技术保证. 关键词 : 非球面; 超精密加工; 光学器件; 非接触检测; 单点金刚石切削; 弧形金刚石砂轮 中图分类号 : T G 58 　　　　文献标识码 : A 　　长期以来 , 光学球面镜头存在色像差的问题 , 如 　 图 1( a) 所示. 要构成高性能的光学系统 , 往往采用 多枚镜头. 20 世纪 30 年代 , 为了消除这种色像差 , 研究人员提出并发明了非球面镜头 , 如图 1 ( b ) 所 示. 但是 , 几个世纪以来的传统切削、磨削和抛光方 法无法加工非球面产品, 而只有利用数控机床才能 有效地实现非球面的加工. 19 世纪 70 年代至 80 年 代 ,应用于投影仪 、显微镜 、照相机 、CD 读写装置和 激光加工机等领域的民用光学产品开始朝着高性 图 1 　球面和非球面透镜的光学性能 能、大口径化和小型化等方向快速发展 , 工业上开始 Fig . 1 　Op t ical p erf or m a nce of sp h eric a n d asp h eric le ns 生产非球面光学部件. 目前 , 一些主要的非球面光学 器件及其应用领域如表 1 所示 , 从该表中可以看出, 表 1 　光学非球面器件的材料及应用 大部分光学非球面器件材料为难加工的硬脆性材料. Table 1 　Op t ic asp h eric m at erials a n d its ap p p licat i on 在光学系统的应用中, 光的反射和折射要求非 非球面类型 材料 应用领域 球面的形状精度达到光波长的 1/ 10 左右[ 1 ] , 特别 普通镜头 光学玻璃 显微镜、CD/ DV D 、投影仪 是 ,应用于航空和军事领域中的光学系统要求非球 红外线镜头 单晶锗、单晶硅 夜视镜、医用内视镜、激光加工 普通反射镜 铝合金、铜、磷青铜 激光加工机、大型显示器 面具有较高的形状精度. 因此 , 光学非球面超精密加 注射模具 陶瓷、镍合金 激光打印机 工及超精度测试已经受到许多研究者的关注. 例如 , 椭圆体反射镜 石英玻璃、碳化硅 X 射线系统 O P TI CA M 中心已经将 CN C 技术应用到精密光学 器件的生产中, 自动进行有选择性的非球面粗加工 、