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応用講座３： 軟Ｘ線分光 下條竜夫（兵庫県立大物質理学研究科） 連絡先：ｇｅｊｏ＠ｓｃｉ．ｕ－ｈｙｏｇｏ．ａｃ．ｊｐ SPring8 には現在４７本のビームラインがあるが、硬Ｘ線を中心としたビームライン、軟Ｘ線のビームライン、 その他のビームライン（赤外など）の３つに大別できる。本講座はそのうちの軟Ｘ線のビームラインで使われる 様々な分光手法を説明しながら、その原理と応用例を紹介するものである。 軟Ｘ線を使った測定技術をすべて網羅することは夏の学校という短い時間では不可能である。そこで、ここ では軟Ｘ線を用いる意義と実際の軟Ｘ線での基本測定の２つについて主に解説する。また、将来この分野で 研究したいと考える学生のために、軟Ｘ線分光で用いられる最新鋭（state-of-art）装置をトピックスとして付け 加える。 ちなみに軟Ｘ線でよく行われるＸＡＦＳの測定は別の講座で行うことにして、本講座では割愛する。 １．軟Ｘ線を用いる意義 正直に書くと軟Ｘ線での実験というのは、さらにエネルギーの高い硬Ｘ線での実験に比べ、はるかにやっか いである。かつて理想の男性として「３高」（身長、年収、学歴が高い）というのがあった。実は軟Ｘ線実験も３ 高である。実験装置の値段は「高く」、実験チャンバー内の真空度も「高く」、さらに求められる技術精度も「高 い」。もちろん硬Ｘ線でも、技術精度が高くなくてはならないのは同じであるが、実験装置に手間と費用がかか るのは、軟Ｘ線実験は高真空または超高真空中で行うからである。軟Ｘ線は空気で吸収されるため、放射光リ ングとチャンバーを真空でつながなくてはならない。リング内は超真空になっているから、これに影響を与えな いためにはチャンバーにいたるまで高真空にする必要がある。また後述するように軟Ｘ線は表面を調べる時 －１０ に使われることが多いが、表面をクリーンな状態に保つためには非常に高い真空度（１０ Ｔｏｒｒ以上）が要 求される。 ではそんなに面倒な軟Ｘ線をなぜ利用するかというと、ひとえにこのエネルギー領域に様々なおもしろい物 理現象が存在するからに他ならない。また逆に高真空にすることにより光電子分光などの様々な観測技術が 使えるというメリットもある。 K(1s) L-I(2s) L-II(2p1/2) L-III(2p3/2) H 13.6 He 24.6 Li 54.7 ①軟Ｘ線領域での電子の束縛エネルギー Be 111.5 B 188 C 284.2 表１は電子の束縛エネルギー（binding energy）をｅＶ N 409.9 O 543.1 単位でしめしたものである。束縛エネルギーはイオン化に要F 696.7 Ne 870.2 48.5 21.7 21.6 S 2472 230.9