单晶炉热场结构课件讲解学习.pptVIP

培训对象：硅单晶制取工 培训讲师：詹文平 硅单晶分厂;内容;热场的优劣对单晶硅的质量有很大影响。合适的热场，能够生长出高质量的单晶。不好的热场容易使单晶变成多晶，或者根本无法引晶。有的热场虽然能够生长单晶，但质量较差，有位错和其它结构缺陷。因此，找到较好的热场条件，配置最佳的热场，是非常重要的直拉单晶工艺技术。 热场有大有小，它是按照所用的石英坩埚的直径大小来划分的，目前国内热场从￠12″～ ￠28 ″都有，但以￠18″～ ￠22″居多。;一、热???结构;加热器;加热器;石墨电极;石墨坩埚、坩埚托杆和坩埚托盘;坩埚托杆、坩埚托盘共同构成了石墨坩埚的支撑体，要求和下轴结合牢固，对中性良好，在下轴转动时，托杆及托盘的偏摆度≤0.5mm。 支撑体的高度是可以调节的，这样可以保证熔料时，坩埚有合适的低埚位，而拉晶时，有足够的埚跟随动行程。;保温罩;中、上保温罩的作用也是为了减少热量的损失。只不过保温罩外面的石墨碳毡的层数不一样，这样使得温度梯度不一样。 排气的方式有上排气和下排气。CZ1#厂房现在使用的比较多的是上排气。这样，上保温罩上面就存在几个排气孔，这些排气孔保证在高温下蒸发的气体的排出。;保温盖、导流筒;压环; (1)安装前 安装热场前，尤其是新热场，应仔细擦拭干净，去除表面浮尘土，检查部件的质量，整个炉室在进行安装热场前