第十二章湿度传感器.ppt

第12章 湿度传感器 12.1湿度及湿度传感器的特性和分类 12.1.1 湿度的定义及其表示方法 1.绝对湿度(?V) ?V=mV/V (mg/m3) 2.相对湿度(RH) RH=(?V/?W)T?100% 露点也能反映相对湿度 12.1湿度及湿度传感器的特性和分类 12.1湿度及湿度传感器的特性和分类 12.1.3 湿敏元件的主要特性参数 1.湿度量程 即感湿范围。 理想情况：0~100%RH；一般情况：5~95%RH。 2.感湿特性曲线 感湿特征量：湿度变化所引起的传感器的输出量。 感湿特性曲线：感湿特征量与环境湿度关系。 3.感湿灵敏度 在一定湿度范围内，相对湿度变化1%RH时，其感湿特征量的变化值或变化百分率。 12.1湿度及湿度传感器的特性和分类 4.响应时间——湿度传感器的动态响应特 湿度传感器响应相对湿度变化量的63.2%所需要的时间。分为吸湿响应时间和脱湿响应时间 5.湿度温度系数——感湿特性曲线随温度变化特性 湿敏元件吸湿和脱湿响应时间不同，具有滞后现象 12.2 电解质湿度传感器 12.1.2 无机电解质湿度传感器 无机电解质是以离子导电的物质。LiCl湿敏元件。 感湿原理：LiCl吸湿潮解，离子导电率变化——湿敏电阻。 1.登莫（Dunmore）式湿度传感器 结构：涂覆式LiCl聚乙烯醋酸盐水溶液混合液薄膜、钯电极结构 12.2 电解质湿度传感器 2．浸渍式湿度传感器 结构：天然树皮或玻璃带基片上直接浸渍LiCl溶液构成。 感湿特性与登莫式湿度传感器相似。 3．光硬化树脂电解质湿敏元件 采用光硬化树脂胶合剂，浸渍或蒸镀LiCl溶液，并经干燥、光硬化处理，增强其耐湿耐温性，可在80℃高温下使用。 12.2 电解质湿度传感器 12.2.2 高分子电解质湿度传感器 高分子湿度传感器 12.2 电解质湿度传感器 1．聚苯乙烯磺酸锂湿敏元件 在聚苯乙烯磺酸锂强电解质感湿膜上制作多孔性梳状金电极而成——湿敏电阻。 工作温度：–30~90℃；测湿范围：0~100%RH。 2．有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 离子导电高分子湿敏材料，吸湿电离导致电极间电阻变化测湿——湿敏电阻。 工作温度：–20~90℃；测湿范围：20~99.9%RH；响应时间约30s；滞后??2%RH；测湿精度：?(2~3)%RH。 3．聚苯乙烯磺酸铵湿敏元件 湿敏电阻；测湿范围：20~99.9%RH；温度系数：?=?0.6%RH；耐水性好。 12.3 半导体及陶瓷湿度传感器 12.3.1 涂覆膜型 结构：感湿材料粉末（Fe3O4）调浆，喷洒涂覆于带电极的基片上构成。 主要性能：湿敏电阻；测湿范围：0~100%RH；稳定性好；响应时间长。 其它涂覆膜型湿敏材料：Cr2O3，Mn2O3，Al2O3，ZnO，TiO2等金属氧化物。 12.3 半导体及陶瓷湿度传感器 12.3.2 烧结体型 将两种以上金属氧化物半导体材料烧结而成的多孔陶瓷的半导体陶瓷湿敏元件。 1.MgCr2O4-TiO2湿敏元件 结构：按MgCr2O4: TiO2=70%:30%混合烧结（1300℃）成陶瓷体，切片，印制电极制成感湿体。 感湿机理：陶瓷烧结体微结晶表面对水分子的吸、脱，电极间电阻变化——湿敏电阻。 感湿特性：工作温度：?150℃，最高达600℃；测湿范围：1~100%RH；稳定性好；响应时间?20s；等。 12.3 半导体及陶瓷湿度传感器 2.V2O5-TiO2陶瓷湿敏元件 体积吸附多孔陶瓷烧结体湿敏元件，湿敏电阻。 主要特点：测湿范围宽；耐高湿；响应快；但容易发生飘移。 3.羟基磷灰石陶瓷湿敏元件 4.ZnO-Cr2O5陶瓷湿敏元件 无需加热清洗的半导体陶瓷烧结体湿敏元件。稳定性好；响应快：湿度变化?20%时，响应时间约2s，吸湿、脱湿几乎无滞后现象。 12.3 半导体及陶瓷湿度传感器 12.3.3 薄膜型 薄膜型陶瓷湿敏传感器主要为湿敏电容，基于感湿材料吸湿后电介常数变化。使用时一般将电容信号调理成频率输出。 1.Al2O3薄膜湿敏元件 优点：工作温度范围宽；体积小；响应快；低湿测量灵敏度高，无“冲蚀”现象； 缺点：对污染敏感而影响精度；高湿精度差；工艺复杂；易老化，稳定性差。 2．Ta电容湿敏元件 阳极氧化法形成的多孔TaO薄膜（1?m）电介质构成湿敏电容器。稳定性好 12.4 有机物及高分子聚合物湿度传感器 12.4.1 胀缩性有机物湿敏元件 利用有机纤维吸湿溶胀、脱湿收缩的特性，将导电 微粒或离子掺入其中作为导电材料，便可将环境湿 度的变化转换为感湿材料电阻的变化。 1．碳湿敏元件-—湿敏电阻 结构：丙烯酸塑料基片（两长边制作电极）；浸涂 羟乙基纤微素、导电碳黑和润湿性分散剂