2.3 电阻式传感器.pptVIP

2.3 电阻式传感器 基本原理:将被测非电量转换成电阻值的变化，再经过转换电路变成电信号输出。 测量参数： 力、压力、位移、应变、加速度、扭矩、温度等 特点： 结构简单、性能稳定、灵敏度较高 第一节 应变式传感器 目前自动测力或称重中应用最普遍的是应变式传感器。 一、工作原理 应变式传感器是基于金属电阻的应变效应制成的。 （一）、金属的电阻应变效应 金属导体的电阻随着机械变形（伸长或缩短）的 大小发生变化的现象称为金属的电阻应变效应。 (二)应变片的基本结构及测量原理 用应变片测量时，将其贴在被测对象表面上。当被测对象受力变形时，应变片的敏感栅也随同变形，其电阻值发生相应变化，通过转换电路转换为电压或电流的变化，这是用来直接测量应变。 还可通过弹性敏感元件将位移、力、力矩、加速度、压力等物理量转换为应变进行测量。 二、应变片的类型和材料 3类： 1.金属丝式应变片 1.金属丝式应变片 两种结构： a）回线式：横向效应较大 b）短接式：克服了横向效应 金属丝式应变片对材料要求： 灵敏系数高、电阻率高、稳定性好、 温度系数小、机械强度高、抗氧化、 耐腐蚀。 常用的材料有：康铜、镍铬合金、镍铬铝合金、 铁镍铬合金以及贵金属（铂、铂钨合金）等 3.金属薄膜应变片 采用真空蒸发或真空沉积等方法在薄的绝缘基片上形成厚度在0.1微米以下的金属电阻材料薄膜的敏感栅，最后再加上保护层。 优点：应变灵敏系数大，允许电流密度大，可在 -197～317℃温度范围内工作。 存在问题：温度稳定性差 第二节 压阻式传感器 利用硅的压阻效应和微电子技术制成的压阻式传感器，具有：①灵敏度高；②动态响应好；③精度高；④易于微型化和集成化等特点，而获得广泛应用，是发展非常迅速的一种新的物性型传感器。 主要用于测量压力、加速度和载荷等参数 一、半导体压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种现象叫压阻效应。 所有材料在某种程度都呈现压阻效应，但半导体材料的压阻效应特别显著。 2、工作原理 金属应变片发生应变以后，使导体的几何尺寸发生改变，因而阻值发生变化。 对半导体来说，它的电阻取决于有限数目的载流子—空穴和电子的迁移。 加在一定晶向上的外界应力，引起半导体能带的变化，使载流子的迁移率产生较大的变化，因而使半导体电阻率产生相应的变化。 直流电桥的优点： 高稳定度直流电源易于获得； 电桥调节平衡电路简单； 传感器及测量电路分布参数影响小等。 此时有： 把n＝1时的电桥，称为对称电桥，常采用这种电桥 的形式。 （二）电桥的非线性误差（线性度） 单臂桥实际输出为： 前面的计算忽略分母中ΔR1/R1项得到： 故非线性误差为： 对金属电阻丝应变片，因为△R非常小，电桥非线性误差可以忽略。 （1）采用差动电桥减小非线性误差 在试件上安装两个工作应变片，R1 受拉，R2受压，且应变量相同。接入电桥相邻桥臂, 则电桥输出电压为： 为了减小非线性误差，常采用的措施为： 设初始时有：R1=R2=R3=R4=R， 且应变量相同即ΔR1=ΔR2，则得： 结论：差动电桥（半桥差动电路）消除了非线性误差，灵敏度比单臂电桥提高了一倍。且具有温度补偿作用。 全桥差动电路： R1R4受拉应变， R2R3受压应变，将两个应变符号相同的应变片接入相对桥臂上。 结论：全桥差动电路电压灵敏度为单臂电桥的4倍，也消除了非线性误差，且具有温度补偿作用。 若应变量ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4， 且R1=R2=R3=R4，则 (2) 采用恒流源电桥减小非线性误差 可见非线性误差比单臂恒压源电桥减少1/2 单臂恒压源电桥输出为： 恒流源I供电，电桥输出电压为： (三)交流电桥 当被测量为复阻抗时，转换电路采用交流电桥。 由于供电电源为交流电源, 分布电容使得两桥臂应变片呈现复阻抗特性, 相当于二只应变片各并联了一个电容, 则每一桥臂上复阻抗分别为： 要使电桥平衡，即U0=0，则有： Z1 Z4 = Z2 Z3 将Z1 、Z4 、 Z2 、 Z3复阻抗值代入上式得： 整理上式得 故交流电桥的平衡条件为 ： 结论： 交流电桥除了要满足电阻平衡条件外, 还必须满足电容平衡条件。为此在桥路上除设有电阻平衡调节外还设有电容平衡调节。 由实部与虚部都分别相等得电桥平衡条件 设交流电桥的初始状态是平衡的，当被测应力变化引起Z1= Z0+ΔZ， Z2=Z0 - ΔZ变化时, 则电桥输