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- 2019-11-27 发布于湖北
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SEMI-S2安全理念 該準則期能消除可預見的,在操作及維護設備時潛在的安全與衛生危害,所有工業標準、建築、電氣、消防等法規,以及國家的一些法令要求,在設備研發過程中均應列入考慮 被查出危害即使無法清除,設備在發生元件失效或操作失誤時,亦不使操作人員、設備或社區直接暴露於危害中而造成傷害、死亡或造成設備損失。設備必須有「失效也安全」(Fail-Safe)或容錯(Fault-Tolerant)之設計 目前幾乎 只有設計階段 19.消防FIRE PROTECTION 19.1在製程設備的構造上,可燃及發煙物質之使用應有所限制,不容許任何易燃或可燃物質與潛在的點火源(如電氣組件或加熱表面)接觸。 19.2物質可燃性測試報告應可隨時索取,使用低於UL 94V-0等級之易燃塑膠,其範圍應低於總儀器表面積20% ,並防止與點火源表面接觸。(參考ASTM E-84,ASTM D-2863,ASTM D-648或其他可燃性塑膠的技術資料)。 19.2.1電路板應合乎UL 94V-1之規定及分類。 19.3設備箱體積大於1.4立方公尺(M3)(50立方英呎)?應評估使用火災偵測系統,所有火災偵測系統應經國家認可之測試實驗室認證,供應商應考慮使用火災抑制系統。 19.3.1火災偵測系統應能與使用者廠務警報系統相接。 19.3與NFPA 318 FM茅盾 NFPA 318 2-1.2.8.1 在可燃性機檯之水平表面因阻隔於天花板上灑水頭因此自動灑水保護設施應該裝置在機檯之水平表面。例外:紅外線或紫外線/紅外線偵測器聯動自動氣體火災抑制局部表面應用系統應可允許為灑水頭之另一種選擇。 FM 7-7使用可燃性化學品或加熱元件於可燃性材質之濕式清洗檯時應設置細水霧系統(FWS)或氣體滅火系統,其設計理論(數量位置)如FM 7-72.2.7所述. 材質報告 19.消防FIRE PROTECTION 一.自衛消防編組 二.防火避難設施之自行檢查 三.消防安全設備之維護管理 四.火災及其他災害發生時之滅火行動、通報連絡及避難引導等 五.滅火、通報及避難訓練之實施 六.防災應變之教育訓練 七.用火、用電之監督管理 八.防止縱火措施 九.場所之位置圖、逃生避難圖及平面圖 十.其他防災應變上之必要事項 消防法第十三條 消防防護計畫 滅火處理應變器材 一.消防水源:調查廠內消防水源是否為獨立水源,而非與公用系統相連接使用,尤其需統計消防水池之最大設計及平日蓄水量,如此才能評估出真正能支援應變滅火的時間 二.動力消防泵浦:調查廠內消防泵浦出水量、出水壓力、泵浦數、備用泵浦數量及使用規格 三.壓力消防管線系統:調查是否為獨立管線且成環路狀配管 四.消防栓:調查統計其室內及室外型數量、出水量、操作壓力、水帶箱、水帶數等 滅火處理應變器材 五.高壓水噴槍:統計各噴出水量、出水壓力及數量 六.自動撒水、水霧及自動滅火系統:調查廠內所有自動撒水、水霧及自動滅火系統佈置及其數量 七.緊急送水口:調查原設計送水口及現況口徑大小 八.消防車:統計廠內外消防車類別、容量、功能等 九.滅火器:統計乾粉、二氧化碳等輪架式或手提式滅火器數量及其種類 十.泡沫系統:調查其容量、泡沫功效、使用時間等 十一.消防衣:調查其數量及放置位置 煙控〈或防排煙〉系統 偵煙系統(Smoke Detection System) 防排煙閘門(Smoke Damper) 撒水系統(Sprinkler) 防煙區劃 緊急運轉之空調排煙 一般狀態〈煙控系統〉 偵煙器作動連動排煙閘門啟動 參考資料 新竹科學園區重大火災預防措施之評估 (新竹科學工業園區管理區) 園區半導體建築防火及消防設施安全基準 (新竹科學工業園區管理區) 半導體廠及光電廠化學品供應系統安全基準建立 (新竹科學工業園區管理區) 特殊材料氣體災害防止安全基準草案 (勞工安全衛生研究所) 科學園區廠務安全基準及查核建立計畫 (新竹科學工業園區管理區) * * * 高科技廠房建築防火及消防安全法規及規範介紹 陳俊勳 教授 交通大學機械工程學系 中華民國九十二年四月二十六日 何謂高科技廠房? 科學工業園區科技產業分類 電腦及周邊設備 積體電路產業 通訊產業 光電產業 精密機械產業 生物技術產業 1. 個人電腦 2. 主機板 3. 影像及影訊卡 4. 磁碟機、光碟機 5. 精密電子接頭、連接器 6. 網路系統 7. 影像掃描機、影像處理系統 1. IC卡讀寫設備及應用系統 2. 電腦及應用軟體 3. 矽晶圓製造 4. 積體電路晶圓製造 5. 積體電路晶圓設計 6.
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