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纳米测量光学实验 袁礼文 光信02班C2作者：曾标华2013-5-8 一、仪器用具和实验装置图 实验用具：激光器、平面反射镜、棱镜反射镜、CMOS光电接受器、可调光阑、半反射 镜、物镜、压电陶瓷及控制电源。 图1实验装置图 二、实验原理 1、位移的纳米测量方法 目前，能够进行纳米测量的方法主要有：非光学方法和光学方法两人类。前者以扫描隧 道显微镜（57妙、原子力扫描显微镜等为代表，虽能实现纳米甚至亚纳米的测量分辨率，但 这些方法在溯源到米定义的时候，人需要利用激光干涉仪等光学方法进行定标和校止，因此, 光学纳米测虽方法在世界上倍受重视。 光学纳米测量方法主要有以下儿种：频率跟踪法（尸-户干涉仪）；光外差干涉仪；偏振 干涉仪；调频干涉仪；光栅干涉仪；笔束激光干涉法等。 纳米测量过程需要建立一个合适的纳米测量环境，以便提鬲测量精度，减少误差。需注 意以下几点： （1） 采用各种减震隔离装置，包括气浮式、电磁式和机械式隔振系统。一方面减小外 界振动対测量系统的影响，另-?方血将测量系统的振动固有频率远离振动源的频率。 （2） 保持实验室的家温恒定，减少由于光程差随温度变化而带来的误差。 （3） 采取措施，减少空气扰动的影响。 故测量时要注意遵循以下的原则：（1）共光路系统原则；（2）补偿原则；（3）减小受影 响的光路的原则；（4）减少朵散光原则；（5）交流调制放大原则。 本实验使用笔束激光干涉法，它是一种经过改良后的光了干涉法，测量精度也可达到纳 米量级，其原理图如图2所示: He-Ne 激光器 ￥ 光阑 半反射 镜 CCD Y 参考三 物镜 成像透 角反射 镜 镜 YA 待测三角反射镜 压电陶 瓷(PZT) 图2笔束激光干涉仪原理图 激光器发出的是光斑直径甚细的准直激光朿，即笔朿光，记其相位分布为t/。。半反射 镜将笔束光分为待测光束和参考光束。这两笔束光分别经待测反射棱镜和参考反射棱镜后, 回到半反射镜，由于反射棱镜的关系此时待测与参考光束己不再重合，而是存在一定的间距 2d。透过半反射镜后，待测光束与参考光束平行入射到成像透镜，并在成像透锐的后焦面 上重合发牛T?涉，形成T?涉条纹。如图2所示，因为成像透镜的后焦点恰好与物镜的前焦点 重合于小孔光阑处，这使干涉条纹被物镜放大成像于CCD上，既增大了干涉条纹的分辨率, 又减少了杂散光的影响。 则CCD上干涉条纹的位移量X/为： X 严 (1) f 2d 式中M是物镜放大倍数，/是成像透镜的焦距，2d为待测光束与参考光束的空间间距，$ 为待测镜的位移虽。从上式中可知，记录干涉条纹移动数，就可得到位移虽，而测量的灵敏 度完全取决于物镜放大率、成像透镜的焦距和两笔束光的空间间距。当/足够大I12d足够 小(使用笔束光的理由)，就可以得到纳米量级灵敏度。 2、微弱振动的纳米测量与监视 振动测量是由于振动物体位移引起待测光波位相的调制，并与参考光波产生T涉，光电 接收装置将干涉信号转变为电信号，经过适当处理，利用电信号的变化求出振幅。其测量光 路图与图2—致。 激光入射光强厶，经半反射镜后，一支光束射向参考反射镜，光强为光程长为厶; 另一支光束射向带有压电陶瓷PZT的待测三角反射镜，光强为人，测量镜静止吋光程长厶。 两支光朿沿原路发射返回，经半反射镜在成像透镜后焦血汇合发牛T涉，合成光强为 / = /,+/2+27^2 / = /,+/2+27^2 2兀cos—— 2 ?2(/2 -Zj) 当压电陶瓷按x(/) = x0 sin co.t振动时，待测三角发射镜的瞬时光程厂2可用卞式表示: (3) 代入式(2),得瞬时的干涉光强/为： (4)/ = /]+/?+ 2』I」? cos —— (/2 - /() + x0 sin = AB cos 0A (4) l /I 式中： A = /j + /2, B = 2y]IlI2 , 0 =——[(厶-Zj + XoSinq/] A 当0 = 2加r (m为整数)时，光强有极人值。相邻两个极值光强Z间的相应位移为2/2, 即压电陶瓷推动三角反射镜，每向前(或向后)位移久/2,干涉条纹的亮度变化一次。这 个亮暗变化的光信号由光电探测器接受转换成电信号输出进行测量。测得其振动振幅为： 从丄N?入 (5) ° 8 式中，是光强变化的频率打振动台振动频率Z比(即波形走一周期中条纹的移动数)。 ［实验记录及分析］ 1、位移的纳米测量步骤 打开激光器。 按照实验装置图1,调节笔束干涉光路图，使Z出现干涉条纹。 对压电陶瓷PZT输入直流电压，使PZT轴向移动三角反射镜，观察条纹平移情况， 记录结果。 改变输入PZT的宜流电压，根据公式1,算出对应的X/,实现定标。(木实验屮, 具体测得d?3mm ,放人镜放人倍数M取20,成像透镜焦距f取