电真空的材料与工艺.pptVIP

2.2 非难熔金属 （四）铁（Fe）及铁合金 性质 ：与镍相似 ；熔点为1537℃，密度7.87克/厘米3 缺点：去气困难、易生锈 用途 ：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽 不锈钢 ：含铬17～19%，含镍9%左右的1Cr18Ni9 如果再加入0.8～1%的钛，则就成为1Cr18Ni9Ti。 作为器件本身的结构件，也可以做真空系统的管道和各种连接法兰。 作模具材料（黑化）。 2.3 贵金属 金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种金属 特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性。 用途：利用其导电、导热性好作为引线、或者在波导内壁镀敷金、银； 作为焊料，如金、银、钯； 铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的过度材料。 第三节 常用介质材料 电真空器件的结构材料，除了大量使用各种金属和合金外，还广泛使用各种介质材料，如玻璃、陶瓷、云母、硅橡胶、聚四氟乙烯和衰减材料等等。 主要介绍：陶瓷‥ 普通陶瓷：高岭土的化学成分中含有大量的AL2O3、SiO2和少量的Fe2O3、TiO2以及微量的K2O、Na2O、CaO和MgO等。 3.1电真空陶瓷的特性 （一）优点： 1、陶瓷能在高温（达800℃）下正常工作； 2、介质损耗小； 3、可以加工得到精确的尺寸 ； 4、陶瓷的机械强度、化学稳定性、绝缘性能等等都优于玻璃。 不足之处：不透明，制造和封接工艺相对比较复杂 ‥ 3.1电真空陶瓷的特性 （二）用途： 1、管壳 2、输能窗 3、支撑件 4、绝缘件 通常同一陶瓷零件同时起两三种作用 ‥ 3.1电真空陶瓷的特性 （三）性能： （1）真空性能 a、气密性：阻止电真空器件外部的大气通过陶瓷进入器件内部的能力； b、放气性 ‥ 3.1电真空陶瓷的特性 （三）性能： （2）热性能 包括：导热系数、膨胀系数和热稳定性 a、导热系数 物理意义 热的来源 危害 ‥ 常用材料导热系数（单位：W/cm·K） Al2O3瓷 0.1~0.3 氧化铍瓷 2 银 4.29 铜 3.86 金 3.17 铝 2.37 铁 0.8 （2）热性能 b、膨胀系数 膨胀——温度曲线的斜率 c、热稳定性 承受高低温冲击的能力 3.1电真空陶瓷的特性 （三）性能： （3）电性能 a、介质损耗 一般都很小 b、电绝缘性能 体电阻 100℃时 1013欧姆·厘米 300℃时 1012欧姆·厘米 ‥ 3.1电真空陶瓷的特性 （三）性能： （4）机械性能 取决于陶瓷的成分和密度 （5）其它性能 密度、二次电子发射、抗辐射等性能 ‥ 3.1电真空常用陶瓷 包括氧化物瓷、硅酸盐瓷、氮化物瓷等 主要介绍氧化物瓷、衰减瓷‥ 3.2电真空常用陶瓷 （一）氧化物瓷： 包括有氧化铝（Al2O3）瓷、氧化铍（BeO）瓷、氧化镁（MgO）和氧化锆（ZrO2）瓷‥ 3.2电真空常用陶瓷 （一）氧化物瓷： （1）氧化铝瓷 （a）75瓷。Al2O3含量为75%，烧成温度1400℃~1450℃。 瓷内含玻璃相较多，因此介质损耗较大（3~8） ×10-4 。 用途：75瓷主要用作无线电元件而很少用在电真空器件内。‥ 单相Al2O3陶瓷组织 3.2电真空常用陶瓷 （一）氧化物瓷： （1）氧化铝瓷 （b）95瓷。Al2O3含量为95%，烧成温度1600~1620℃ 。 介质损耗小（1.4~2.2）×10-4。 导热性能和强度比75瓷高 用途：微波管的主要用瓷 。‥ 3.2电真空常用陶瓷 （一）氧化物瓷： （1）氧化铝瓷 （c）99瓷。Al2O3含量达到99%，烧成温度更高 介电性能和强度等比95瓷又有提高。 成本高 用途：用于电真空器件中的关键部位 。 ‥ 3.2电真空常用陶瓷 （一）氧化物瓷： （1）氧化铝瓷 （d）透明刚玉瓷 。Al2O3含量达到99.9%，烧成温度1800℃和5小时 性能非常好，特别是高频损耗比95瓷要低一个数量级，导热率又高，化学稳定性好。 成本高