低温等离子体及应用 杨深 06电光源.ppt

杨深 06电光源 通俗地说，等离子体就是电离气体，又被称为物质的第四态。按照严格定义，等离子体指包含自由带电粒子的体系，其中库仑力起主要作用。一般情况下，等离子体是电子、离子和中性原子组成的混合物。 电中性：宏观尺度上，等离子体空间任意一点呈电中性 德拜屏蔽： 低温等离子体的性质 由气体放电产生的部分电离等离子体，温度低于10ev（10万k） 低温等离子体 热等离子体：Te=Ti 非平衡等离子体：TeTiTg 主要微观过程 电子与原子的弹性碰撞：只交换动量，不改变位能和电荷 非弹性碰撞与其他作用 低温等离子的平衡方程及主要模型 诊断模型 局部热力学平衡（LTE） :热等离子体 日冕模型(Corona model) 碰撞辐射模型（Collision-Radiation）：非平衡等离子体 平衡方程 粒子平衡 热平衡 辐射平衡 能量平衡：输入电能=辐射能+热损失 成立条件：在一个平均自由程尺度的范围内粒子从电场中获得的能量远小于热运动的能量，且温度的梯度可以忽略 1电子速率服从麦克斯韦分布 2激发态粒子服从波尔兹曼分布 3粒子组分满足化学平衡和质量守衡 4带电粒子浓度满足沙哈方程 则在该微元内，满足以下假设： 1原子的线光谱：电子与原子碰撞，使其激发，激发态原子退激发，以辐射的形式放出能量 特别的把第激发态向基态跃迁产生的辐射称为共振辐射 2分子的带状光谱：受激发的分子跃迁产生的辐射。不但分子内电子能量发生变化，而且分子的转动能量和振动能量也发生变化，这些谱线的集合就是分子带状光谱。 3连续光谱：a电荷符号相反的粒子相遇时发生复合，多余能量以光子释放 b韧致辐射 4谱线的放宽： 谱线的自然宽度：不确定关系 多普勒放宽：辐射原子的热运动 谱线的压力放宽：斯塔克放宽（带电粒子的影响） 范氏放宽（同种粒子碰撞影响） 例：不同气压下的汞放电的光谱 对于原子的线光谱，辐射功率密度为： 根据波尔兹曼分布，激发态浓度为 考虑空间立体角，有 通常选取两条自吸收率低的谱线： V1 V2 Vs 对于双探针 随机电流 BD: 汤生放电 DE: 亚辉光放电 EF：正常辉光放电 FG：反常辉光放电 GH：弧光放电 （一）荧光灯（非平衡等离子体） 发光原理：电极发射电子，电子在电场作用下与汞原子碰撞发生雪崩电离。同时电子激发汞原子，主要是 共振激发态，当其向基态跃迁时，产生253.7nm的紫外辐射，经荧光粉转化为可见光 由于存在辐射吸收（禁锢效应），所以汞的蒸气压要控制在合理的范围，一般在0.8Pa左右。但在这么低的气压下，电子的平均自由程过长，通过双极性扩散带电粒子损失太大，因此要充200～400pa的氩气或氪气等惰性气体作为缓冲气体，以减少带电粒子的损失 双极性扩散示意图 电磁感应耦合等离子体 （二）金属卤化物放电灯(热等离子体) Outer bulb Electrodes Me1Me2Hal MeHal Me Me* Me+ Hal Hal* Hg* Quartzburner ignitor ballast Mo-Foils Hg = Mercury Me = Metals Hal = Halids supply voltage 典型的金卤灯结构及工作原理 几种金卤灯的发射光谱 高压汞灯 Na- Tl –In 灯 稀土元素（Dy+Tm+Ho） （1）等离子体刻蚀 刻蚀是微电子电路加工的关键工艺，过去的化学法（湿法）刻蚀方向性差，无法满足亚微米线宽的工艺要求。而等离子刻蚀则利用气体放电引起相应的化学反应，形成刻蚀所需要的自由基，它们与基地反应生成易挥发的反应物被流动的气体带走，而对带保护膜的部分没有影响，从而达到刻蚀的目的。 依靠高频辉光放电形成的化学活性游离基与被腐蚀材料发生化学反应的一种选择性腐蚀方法 （2）等离子体溅射镀膜 在低真空室中,将待溅射物制成靶置于阴极,用高压（通常在1000V以上）使气体电离形成等离子体,等离子中的正离子以高能量轰击靶面,使待溅射物的原子离开靶面,淀积到阳极工作台上的基片上,形成薄膜. 谢谢！ 主要参考资料： 《光源原理与设计》 周泰明 复旦大学出版社 《气体放电物理》 徐学基 诸定昌 复旦大学出版社 《等离子体物理学》国家自然科学基金委员会 《等离子物理学专题报告》 王龙 《light and light sources》 Peter F