Centrotherm扩散炉结构简介.pptVIP

centrotherm主要控制系统的组成和作用如下： 1. CMI 计算机 每个机台一个，用于控制装卸系统并显示 CMS和CESAR电脑 2. CMS （central machine safety） 错误监视单元，用于监视炉内，炉外，炉 体及电路的温度和冷却系统的工作状况，并将结 果显示在CMI电脑用户界面上，系统对偏差的响应 可设置。 3. CESAR 控制电脑（每个炉体一个） 作用： 1） 创建或更改recipe 2） 定义recipe变量（工艺时间，温度， 压力，气流） 3） start，stop and cancel recipe 4） 数字控制温度 5） 控制气流 6） 装载机组参数设置 7） 与装卸系统进行通讯 8） 监视报警/中断状况（气流，温度，压力） 9） 通过级联控制器控制温度 10）通过级联温度控制进行自动拉温 11）存储一定数量的recipe 12）记录用户定义的