微机电系统 机械电子工程学院专业选修课程.pptVIP

三、光微传感器 1、光电传感器 外光电效应——真空光电管、光电倍增管等 内光电效应——真空光电管、光电倍增管等 光电导效应——半导体光敏电阻，当光辐射时半导体材料电子和空穴增殖 光生伏特效应（光伏效应）——光电池/太阳能电池类；光敏晶体管类（光敏二极管/三级管、PIN光敏三级管、肖特基势垒光敏二极管、雪崩光敏二极管（APD）等 特点——直接利用材料光-电转换物理效应 2、光纤传感器 优点：灵敏度高、电绝缘性能好、抗电磁干扰、耐腐蚀、耐高温、体积小、重量轻等——应用灵活、适应面广，开辟了很大应用空间 既传光，也是敏感元件 光纤内光传输特性受被测物理量作用（例如材料机械变形）而发生变化，使光的属性（光强、相位、偏振态、波长等）被调制。探测的对象往往不是光，严格地讲各属于机械量等传感器。 传感型 传光型 严格地讲不是传感器原理，而只是一种传输光线结构 3、光强传感器——光干涉传感器分类 实例包括：水下声波传感器、光纤微弯曲传感器、耦合波导传感器、移动光纤水听器、光栅传感器、偏振传感器及全内反射传感器等 光强传感型 光纤陀螺仪、声传感器、光纤光磁传感器（通过磁致伸缩材料外壳转换）等。 经过特殊掺杂或表面涂层的光纤——机械量传感器（加速度计，测量液面位置、形变、位移、力矩、流量的探测器）；辐射剂量测定仪、电流传感器、温度传感器； 光（相位）干涉传感型 （