* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 工作原理 光束从棱镜一侧入射,在界面发生内全反射,因而在样品附近存在隐失场。 光纤探头接近样品表面,发生隐失波的耦合,通过光纤把光强信号输出,光电倍增管把光信号转换为电信号并放大,由三维运动机构、反馈和压电晶体管,构成一个(x,y)扫描和纵向z测控系统,保证(x,y)扫描过程中针尖和样品的距离不变。 因为隐失波在纵向为指数衰减,反应敏感,当样品有微小起伏时,测控系统便发出控制信号,使针尖降升,从控制信号可以获知全反射面上样品的型貌 近场光学显微镜 电子显微镜: 传统的光学显微镜的分辨本领受限于光波长,使用短波长光照明是提高显微镜分辨本领的途径之一。利用运动电子的具有波动性制造电子显微镜,因为电子的德布罗意波长极短,所以它有极高的空间分辨本领。 电子显微镜的分辨本领,电子束发散角较小,u0~0.16rad; 电子波长取决于电子的加速电压: 加速电压 电子波长 分辨本领 有效放大率 104V 1.2?10-2nm 5?10-2nm 2?106 105V 3.7?10-3nm 1.5?10-2nm 6?106 1986年诺贝尔物理学奖一半授予德国柏林弗利兹-哈伯学院(Fritz-Haber-Institut der Max-Planck
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