表面组分与结构分析技术应用.pptVIP

Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID “电子薄膜与集成器件”国家重点实验室. 7、XPS 在电子材料中的应用 XPS 与 AES、SIMS 相比应用最广：XPS 对表面破坏最小、荷电最弱；表面成分组成信息和元素化合价信息可测；无机物和有机物适用；导体、绝缘体和超导体可测。 1）XPS 在超导薄膜中的应用 Bi-Sr-Ca-Cu-O 超导薄膜 图13-20-2 Cu-O 面起超导作用已得到公认。 一般认为：凡是有 Cu 参与的超导系列，Cu 的化合价必须 高于 2。 Schl. of Optoelectronic Inform. “光电探测与传感集成技术”教育部国防重点实验室 State Key Lab. of ETFID