电镜基本原理电镜.pptVIP

解决污染的方法有： 改善电镜真空，减少真空中的油、脂的蒸气和水蒸气。 快速观察，在污染还不严重时完成观察和记录。 如果被污染区域的图像质量显著下降，应更换观察区域或更换样品。 损伤： 扫描电镜观察时，样品可能受到的损伤有：①真空损伤；②电子束损伤。生物样品从大气中放入真空中时，就会产生真空损伤，主要是由于样品干燥引起的。电子束损伤是由于入射电子的能量引起的。由于电子束照射引起样品照射点局部加热造成样品部分龟裂，也会引起化学结合的破坏。电子束损伤对某些对电子照射敏感的材料是一个严重影响，但对多数生物样品影响不大严重。 减少电子损伤的办法有；①降低加速电压，②减小电子束流，⑧尽可能用低倍观察和拍摄；④加厚喷镀金属膜。 用扫描电镜观 察拉伸情况 喷金的样品 扫描电子显微镜的工作内容 微区形貌观测 ①二次电子像 可得到物质表面形貌反差的信息，即微观形貌像。 ②背反射电子像 可得到不同区域内平均原子序数差别的信息，即组成分布像。 ③X射线元素分布像 可得到样品表面元素及其X射线强度变化的分布图像。 微区定性和定量分析 与常规的定性、定量分析方法不同的是，扫描电子显微镜系统是在微观形貌观测的基础上，针对感兴趣区域进行特定的定性或定量分析。 扫描电子显微镜的应用实例 一种(上图)抗氧化能力较差(国内)；另一种(下图)抗氧化能力较强(国外) 两者的微双形态呈明显的不同 氯化亚铜微观形态的观测 催化剂线扫描图 一种PVC粉料的形貌观测 ABS脆件断裂后微观形态的观测 扫描电子显微镜的应用实例 第二节 扫描电镜（SEM) Scanning Electron Microanalyzer 一、扫描电镜(SEM) SEM的基本原理 工作原理：从电子枪发射出来的电子束，经两级聚束镜、偏转线圈和物镜射到试样上。由于高能电子束与试样物质的交互作用，结果产生了各种信号。其中最重要的是二次电子，这些信号被相应的接受器接受，经放大器放大后，送到显像管的栅极上，调制显像管的亮度。由于经过扫描线圈上的电流是与显像管相应的偏转线圈上的电流同步，因此试样表面任意点发射的信号与显像管荧光屏上相应的亮度一一对应。即电子束打到试样上一点时，在显像管荧光屏上出现一个亮度。而我们所要观察试样一定区域的特征，扫描电镜则是采用逐点成像的图像分解法显示出来的。 图像为立体形象，反映了标本的表面结构。如样品为非金属不导电材料，为了使样本表面发射出次级电子，样本表面要喷涂上一层重金属微粒，重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号。 ★焦深大，图像富有立体感，特别适合于表面形貌的研究 二、扫描电镜的最大特点 ★放大倍数范围广，从十几倍到几十万倍，几乎 覆盖了光学显微镜和TEM的范围 ★样品的电子损伤小 这些方面优于TEM，所以SEM成为高分子材料 常用的重要剖析手段 ★样品制备较简单，甚至可以不作任何处理。并且样品可以很大，如直径可达10cm以上 三、SEM与TEM的主要区别 ★在原理上，SEM不是用透射电子成像，而是用二次电子加背景散射电子成像。 ★ 在仪器构造上，除了光源、真空系统相似外，检测系统完全不同。 SEM的分辨率主要受到电子束直径的限制，这里电子束直径指的是聚焦后扫描在样品上的照射点的尺寸。对同样品距的二个颗粒，电子束直径越小，越随得到好的分辨效果，电子束直径越小，信噪比越小 。。 分辨率 四、扫描电镜(SEM)的主要参数 二次电子由于作用区最小因而像的分辨率最高，接近电子束斑直径。其他如背散射电子、X射线以及阴极荧光等作用区较大因而像的分辨率较低 扫描电镜像的放大倍率(M)由屏的大小(某边长乚)与电子束在样品上扫描区域的大小(对应边长l)的比例决定：M=l/L。通常显像管屏的大小是固定的，而电子束扫描区域大小很容易通过改变偏转线圈的交变电流的大小来控制。因此扫描电镜的放大倍数很容易从几倍一直达到几十万倍，而且可以连续地迅速地改变，这相当于从放大镜到透射电镜的放大范围。这是扫描电镜的一大优点。 放大倍数 SEM的放大倍数与屏幕分辨率有关 焦点深度(即焦深)：焦深是指保持像清晰(即保持一定的分辨率)的条件下，物面允许的移动范围。大的焦深不仅使聚焦变得容易，而且对于凹凸不平的样品仍然获得清晰的像，从而增强了像的立体感，使图象易于分析。扫描电镜的焦深很大，这是由于电子束孔径角很小的原因。从而造成扫描电镜像的立体感非常强，这也是扫描电镜的另一大优点。 SEM的焦深是较好光学显微镑的300－600倍。 焦深大意味着能使不平整性大的表面上下都能聚焦 。 焦深 △F——焦深； d ——电子束直径； 2a——物镜的孔径角 衬度 像的衬度就是像的各部分(