电子显微与探针相关技术应用.pptVIP

实现暗场像 常用的两种方法： 两种方法都是使散射电子从光栏孔中穿过，让散射电子在荧光屏上成像， 但后一种保持了近轴电子成像特点，所以分辨率较高。 谢谢大家！ 由于荧光屏分辨率比人眼好，因此只要仪器调整好，拍摄的照片上能够得到更好的细节。 1.1.4 样品室和样品台 透射电子显微镜的样品室有一定的空间，可以装配各种不同功能的样品台外，还可以安装一些探测器，如二次电子探测器、x射线能谱仪探测器、电子能量损失谱仪探测器等。 此外，还可以装入倾斜台、旋转台、冷台、热台及拉伸台等这样利用一台透射电镜，可以进行广泛的研究达到多功能的效果。 1.2 真空系统 保持透射电子显微镜体的高真空是正常工作所必须的条件。 (1)在空气中，运动的电子与气体碰撞而散射时，电子能量很快减小，使得电子的平均自由路径很小。 在电子显微镜中，从电子枪灯照到荧光屏的距离约为1m，为了使电子的平均自由路径大于这个距离，需要优于1.33×10－2Pa的真空度。 (2) 电子枪处于高真空状态下，可以保证绝缘性能良好，可以避免高压放电，保持高压状态稳定，进而使电子照明效果良好。 (3) 高真空可以延长电子枪的寿命，保证了透射电子显微镜较长时间内工作条件稳定。 (4) 试样处于高真空中可以减小污染等，使电子图像质量提高。 高分辨的透射电子显微镜，加速电压很高，为200KV左右 这就必须使真空度更高，真空度要优于1.33×10－4～1.33×10－5Pa 为了达到透射电子显微镜体内的高真空， 通常采用旋转机械泵抽前级真空，使真空度达到1.33Pa 再用油扩散泵抽高真空，使真空度达到1.33×10－3Pa。 若要更高的真空，可以用离子吸附泵等。 1.?3电器系统 电器系统包括： ①电子枪高压电源。 ②磁透镜激磁电流电源。 ③电对中系统、消像散器、真空阀门、 照相及自动控制系统的电器电源。 ④真空系统电源。 ⑤安全保护电器，自动关闭真空阀 门；如真空不良，高压电压不稳 时，自动关机。 ⑥透射电镜的计算机控制系统 2.???透射电子显微镜的性能 透射电子显微镜的性能主要有以下几点： 分辨本领、放大倍数、 加速电压、衍射相机长度、 自动化程度，以及仪器所具备的各种功能等。 2.1分辨本领（分辨率） 透射电子显微镜的分辨本领：是表征电子显微镜观察物质微观细节的能力，是指示仪器水平的首要指标，也是电子显微镜性能的综合性指标。 高分辨电子显微镜的点分辨率可达到0.1～0.2nm。 点分辨本领:是指在电子图像上能分辨开的试样上，相邻两点间的最小距离。 点分辨率的测量方法：一般是采用重金属蒸发粒子制成的样品进行观察和拍照。 从电子图像上观察测量两个斑点之间的最小距离，除以图像放大倍数，就得到分辨率的数值。 线分辨率或晶格分辨率：是指电子图像上能分辨的最小晶面间距。 Au晶格条纹 0.14nm 2.2 放大倍率 透射电子显微镜的放大倍率：是指电子图像相对试样的线性放大倍数。 有效放大倍数：是将最小可分辨距离放大到人眼可以分辨的尺寸所需要的放大倍数。 有效放大率是与仪器分辨率相对应的。 当人眼的分辨距离为D，电镜点分辨率是r时，有效放大率M = D/r 。 仪器的最高放大率大于有效放大率，但放大率太高是没有意义的。 它不可能提高仪器的分辨率，也不可能看清更小的细节。 例：D ＝ 0.1mm(人眼分辨本领)， r ＝ 0.3nm（TEM分辨本领）。 M有效＝ D/r = 0.1mm/3×10-7mm = 330000 一般点分辨率是0.3nm的TEM放大倍率应具有33万倍以上。 所以最高放大倍率在60～80万倍是合适的。 为了普查试样选择视场需要有50～100倍的低倍率， 一台TEM放大倍率一般在50～800000倍，连续可调。 2.3 加速电压 加速电压是指电子枪阴极灯丝相对于阳极的电压，它决定电子束的波长和能量。 加速电压高时，电子束的波长短、能量大。电子束对试样的穿透能力就强。 加速电压高，有利于获得高分辨图像?，对试样造成的电子辐射损伤也比较大。 一般TEM加速电压在50～200KV，超高压透射电子显微镜加速电压在1000KV以上。 2.4 相机长度 相机长度：是指电子衍射分析时一个仪器常数，是试样到照相底片的距离。 图20.8所示电子衍射的基本几何关系。 L：相机长度 R：是底片上衍射斑点到透射斑点的距离。 可以看出：tg2? = R/L 因为布拉格方程中2sin? =λ/d 由于电子衍射中的衍射角非常小，一般只