电子显微镜概念和应用.pptVIP

不同波长的X 射线要用不同面间距的晶体进行分光， 日本电子公司的电子探针通常使用的四种晶体面间距及波长检测范围见下表。 分光晶体及波长范围 STE[Pb(C18H35O2)2]为硬脂酸铅，TAP(C8H5O4Tl)为邻苯二甲酸氢铊，PET(C5H12O4)为异戊四醇，LiF为氟化锂晶体。 如果把X射线看成由一些不连续的光子组成， 光子的能量为 E＝ｈν，ｈ为普朗克常数，ν为光子振动频率。 不同元素发出的特征X射线具有不同频率， 即具有不同能量。 当不同能量的X射线光子进入锂漂移硅[Si(Li)]探测器后，在Si(Li)晶体内将产生电子－空穴对，在低温（如液氮冷却探测器）条件下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量ε为3.8eV。能量为E 的X 射线光子进入Si(Li)晶体激发的电子－空穴对N＝E/ε，入射光子的能量不同，所激发出的电子－空穴对数目也不同，例如，Mn Kα能量为5.895keV，形成的电子－空穴对为1550 个。 （b）能量色散谱仪 探测器输出的电压脉冲高度，由电子－空穴对的数目N 决定，由于电压脉冲信号非常小，为了降低噪音，探测器用液氮冷却，然后用前置放大器对信号放大，放大后的信号进入多道脉冲高度分析器， 把不同能量的X射线光子分开来，并在输出设备（如显像管）上显示出脉冲数—脉冲高度曲线。 纵坐标是脉冲数，即入射X 射线光子数，与所分析元素含量有关；横坐标为脉冲高度，