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涡旋无油真空泵技术的发展与现状 作者:宁宪宁 摘要: 本文总结了涡旋无油真空泵技术的发展与现状,其内容包括从涡旋技术的发展到涡旋技 术在各行业的应用;从涡旋无油真空泵的制造技术及技术指标;从世界各国涡旋真空泵的发 展到我国涡旋真空泵的发展现状,对涡旋无油真空泵的状况有一个系统的介绍。 关键词:真空泵 无油泵 涡旋技术 1 引言 涡旋的概念相当久远,20世纪初世界上就已经有了涡旋技术的专利。但由于当时技术水 平的限制,涡旋机构制造不出来,涡旋的概念也就被淡忘了。1973年涡旋机构被重新提起并 制造出第一台模型机构,使这项技术实际应用成为可能。涡旋机构的可靠性高、运行平稳、 噪音极低、节省能源等潜力和巨大优势马上引起了冰箱行业的重视和迫切需求,大受行业领 先者青睐,迅速被投入工业化应用。Trance、Hitachi、Copland 等著名公司的涡旋压缩机技 术与产品引领了世界涡旋技术实用化的浪潮,带动了如冰箱、空调等诸多行业的技术进步和 产品的更新换代。 今天涡旋技术已经由初期的应用在压缩机行业推广到真空泵制造业,实现了全无油、运 行更平稳、噪音更低、更加节省能源的涡旋清洁真空获得技术的实用化。人们应用涡旋概念 与原理制造出了对真空应用仪器设备和环境没有污染,并且抽速、寿命、能耗等指标均优于 普通油泵的单级、双级涡旋无油真空泵系列产品。 上个世纪 90年代初,世界上首台涡旋真空泵推向市场,涡旋技术由此开始作为一种新型 真空获得技术在世界范围内被推广应用。到目前为止,世界上涡旋真空泵的生产厂家集中在 美国、日本和欧洲,以日本的 Anest Iwata、美国的 Varian、德国的 Bush 等为代表。产品包 括了自 0.25L/S~10L/S系列产品,有些 15L/S或更大抽气量的产品也在试验阶段。 2 涡旋无油真空泵的特点与应用领域 清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。 自能够创造真空环境开始, 人们就试图采用不同的手段达到清洁真空的效果。时至今日,清洁真空获得设备已经发展到 冷凝泵、柱塞泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中,涡旋 无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积 小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域:1半导体行业——薄膜制备设备、 半 导体器件封装设备;2真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检漏设备;3科学 仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;4医疗设备——牙科仪器、透析 机;6生物制品行业——材料提纯、药品制备;7包装行业——食品、药品、生物制品等包装 设备。 3 涡旋无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比 涡旋无油真空泵的涡旋盘是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个 涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成一对涡旋盘付构成了涡旋无油真空泵的 基本抽气机构。例如在双级涡旋无油真空泵中,有两个方向对应的固定涡旋盘,一个位于两 个涡旋盘之间的转动涡旋盘。动、静涡旋盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气 体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。 众所周知,涡旋无油真空泵(Oil free scroll vacuum pump与普通油真空泵相比具有 显著的特点。表 1与图 1、图 2以普通旋片真空泵为例,说明其差别。 4 涡旋无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题 4.1涡旋无油真空泵性能优越 涡旋真空泵的主要优点是间隙小、泄漏少,具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有 稳定的抽速,工作压力范围宽;由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功 率变化小,振动噪音低,可靠性高。这是其他类型的干式真空泵所不具备的。 4.2 涡旋无油真空泵解决了污染与震动等基础、共性问题 由于普通旋片油泵的漏油、噪音、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影 响,如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油问题。真空镀膜设备的镀膜 工艺中,在 20~40Pa真空条件下镀膜时,如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵要将 对镀膜工艺设备造成污染,影响成膜质量。半导体晶片制造工艺中使用油泵与使用干泵相比, 成品率存在 50%左右的差距, 并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。 科学仪器行业尤其是在分 析测试仪器行业,采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采用涡旋无 油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外涡旋无油真空泵消除了普通油泵的漏油给 用户带来的环境污染与烦恼. 4.3 涡旋无油真空泵使系统制造与运行成本降低 为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染, 需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子; 系统运行过程当中还需要定期清洗除油;有的需要定期更