国内外微惯性陀螺仪的概述.pdfVIP

微机械陀螺仪的国内外发展概述 学号28 姓名：刘永红 手机号：138 3450 8743 摘要：陀螺仪是一种用于测量旋转速度或旋转角的仪器。它在运输系统，例如：导航、刹车调节控 制和加速度测量等方面有很多的应用。微机械陀螺仪主要有振动式微机械陀螺仪、转子式微机 械陀螺仪、微机械加速度计陀螺仪三种，现在工业控制 、航空航天、军用技术都不可能离开 惯性传感器：汽车、消费品和娱乐市场也开始依赖这些设备。许多市场调查一致认为微机械传 感器市场将以每年15%-25%的年增长率增长。微机械陀螺仪的性能指标在很短的十几年内得到 了迅速提高，目前正由速率级向战术级精度迈进。根据随机游走系数定义陀螺仪的性能指标， 体微机械和表面微机械陀螺仪的性能在每2 年便以 10 倍的速度得到提高，表面微机械陀螺仪 和体微机械陀螺仪的性能的差距也越来越小。也正是由于微机械陀螺仪的广泛应用，使得世界 各国都致力于对陀螺仪的研究和发展。 正文： 一、微机械陀螺仪的分类简介及用途。 陀螺是首先在火箭上得到应用的，开始于二战期间德国的V2 火箭。从此，陀 螺仪和加速度计成为一门惯性技术而快速发展起来，冷战时期精度上快速提高，功 能上有很大扩展。不仅在海、陆、空、天的军事领域普遍应用，而且在大地测量、 空中摄影、隧道开凿和石油钻井等等许多民用部门也用它起到定向和稳定作用。在 军事应用的牵引下，惯性仪表精度大幅提高的同时，相关的制造工艺越来越复杂， 生产周期长，成本很高，价格昂贵，令民用部门望而却步。即使在军用方面，由于 陀螺仪转子的高速旋转和惯性测量系统的复杂性，在可靠性、安全性、兼容性、寿 命以及体积重量等方面也暴露出某些固有的弱点。凡此种种，促使科技人员去思考 和探索新的测量工具和测量方式，以替代传统的机械转子式的陀螺仪。因而，各种 各样的新型陀螺仪和加速度计相继研制出来并成功地获得应用。微机械陀螺仪主要 有振动式微机械陀螺仪、转子式微机械陀螺仪、微机械加速度计陀螺仪三种： （1）振动式微机械陀螺仪。 振动式微机械陀螺仪利用单晶硅或多晶硅制成的振动质量，在被基座带动旋 转时的哥氏效应感测角速度。多采用平面电极或是梳状电极静电驱动，并采用平板 电容器进行检测。其分类如下： 1 振动式微机械 陀螺仪 梳状驱动平板 梳状驱动音叉 电磁驱动音叉 压电棒式振动 声表面波振动 振环式陀螺仪 式振动陀螺仪 式振动陀螺仪 式振动陀螺仪 陀螺仪 陀螺仪 （2）转子式微机械陀螺仪。 转子式微机械陀螺仪的转子由多晶硅制成，采用静电悬浮，并通过力短再平衡 回路测出角速度。从功能看，转子式微机械陀螺仪属于双轴速率陀螺仪或双轴角速 率传感器。 转子式微机 械陀螺仪 双自由度陀 单自由度陀 螺仪 螺仪 （3）微机械加速度计陀螺仪。 微机械加速度计陀螺仪是由参数匹配的两个微机械加速度计做反向高频抖动 而构成的多功能惯性传感器，兼有测量加速度和角速度的双重功能。其分类如下： 微机械加速度 计陀螺仪 单芯片集成加 单质量块加速 速度计陀螺仪 度计陀螺仪 二、国内微机