01190660 薄膜材料与技术 09级 第1章 真空技术基础.pptVIP

Month 00, 0000 Title of Presentation (Edit using View Menu Header and Footer) Thin Film Materials Technologies 薄膜材料与技术 材料科学与工程学院 2008? 西安理工大学 Xian University of Technology -*- 薄膜材料与技术Thin Film Materials Technologies 武涛 副教授2012年 秋季学期 课程简介 总学时数：24 学时，每周 4 学时，5-10 周 课程性质：材料类专业 院级任选课 学习：薄膜材料的合成制备、形成机制、成分结构、性质性能 掌握：薄膜材料的基本概念、一般规律 和 工艺方法 ！ 教材： 唐伟忠：薄膜材料制备原理、技术及应用（第2版）， 冶金工业出版社，2003 郑伟涛：薄膜材料与薄膜技术（第2版），  化学工业出版社，2008 课程简介 主要参考书： 1、田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006 2、M.Ohring，薄膜材料科学（第2版影印本），世界图书出版公司，2006 3、杨帮朝，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，2006 4、戴达煌，现代表面技术科学，冶金工业出版社，2004 教学要求和考核方式：