《薄膜光学》-公开课件.ppt

* * 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 光学薄膜的类型与符号 1.减反膜 2.滤光膜 3 保护膜 4 内反射 5 外反射 6 高反膜 7 分束膜 8 分色膜 9 偏振膜 10 导电膜 复习： 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 一种压缩波纹的简单的方法是选择合适的基本周期，通过改变基本周期内的膜层厚度，使其等效折射率变到更接近预期值，要使这种方法有成效，则要求光洁基片保持低的反射率即基片应有低的折射率，在可见光区，玻璃是十分满意的基片材料，但是这种方法不能不加修改就用于红外区，例如用于硅板和锗板， 更常用的方法是在多层膜的每一侧加镀匹配层，使它同基片以及入射介质匹配。 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 带通滤光片 最简单的带通滤光片可以用一对前后截止滤光片来形成，但是需要将它们分别置于一块玻璃的两侧，或者说分别置于两个分离的光学界面上。 ------为什么？ 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 带通滤光片 金属滤光片 全介质滤光片 双半波、三半波全介质滤光片 金属诱导透射滤光片 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 最简单的薄膜窄带滤光片是根据法布里—珀珞多光束干涉仪制成的，干涉膜系按最初的形式法布里-珀珞干涉仪是由两块相同的、间距为d的平行反射板组成(如图)，对于平行光线，除了一系列按相等波数间隔分开的很窄的透射带而外，其余所有波长的透射率都很低。这个标准具可以代换成一个完全的薄膜组合——两个金属反射层夹一个介质层，介质层取代间距d的位置，称为间隔层。 法布里—珀珞标准具 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 有效界面法 膜系1、2之间的膜层为选定层，厚度为d，则： 考虑多光束干涉，透射系数： 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 用 替代整理 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 得到： 其中： 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 滤光片的主要参数 λ0——中心波长，或峰值波长 Tmax——中心波长透射率，或 ， 峰值透射率 2⊿λ——透过率为峰值透过率一半的波长宽度，也称通带半宽度，有时也用2⊿λ/ λ0表示相对半宽度 其它参数…… 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 由公式： 金属滤光片 形式：两层金属反射膜间夹一个介质层 当： 透过率有最大值 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 求通带半宽度： 透过率由峰值下降一半，θ 由θ0 变为θ0+⊿θ 可以求得： 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 有时除半宽度外，还引入其他的带宽参量，如0.9倍峰值透射率处测得的带宽， 0.1倍峰值透射率的带宽以及0.0l倍峰值透射率的带宽等。对于法布里—珀琅滤光片，如果在通带内来自反射膜的相位变化实际是常数的话那么上述带宽量度分别是：1/3x 2 ⊿λ ，3x 2 ⊿λ 以及10x2 ⊿λ，这些量常用来说明任一给定类型的滤光片的通带形状以及接近于矩形的程度。 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 峰值透过率 当反射膜没有吸收、散射损失而且反射膜完全对称时，即T1=T2=1-R1=1-R2，R1=R2时 Tmax=1；当两个反射膜完全对称，且有散射、吸收存在时： 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 在实际上存在吸收、散射的情况下，反射膜的透射率愈低，吸收、散射愈大，则峰值透射率愈低,例如T12＝0.012,A=0.005,Tmax＝50%左右。这时如果人u增加至0.01则Tmax降至30%左右。这足以说明法布里—珀珞滤光片对膜层的吸收、散射损失是极其敏感的。 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 两个膜不对称对峰值透射率的影响 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 次峰的消除 短波的次峰一般用吸收玻璃来消除 如果使用高级次，则需消除长波次峰 但是，长波吸收玻璃种类很少 金属滤光片一般胶合使用 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激光科技有限公司 金属滤光片的带宽 级次越高，带宽越小，但是受到次峰和间隔层厚度限制 反射率越高，带宽越小，但是受到吸收的限制 薄 膜 光 学——典型膜系 武汉新时代激