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真空培训教材 编写：潘家荣 大部分半导体设备在真空状态下工作，因此，对从事半导体设备维修的设备人员来说，了 解真空尤为重要，下文主要介绍一些真空方面的知识。 一，真空的概念 1，什么是真空呢？ 一句话，就是当容器里的气压低于标准大气压时，即为真空现象。其标准的定义为： 在标准温度和压力下，当一升容积的容器里的气体分子数少于?2.7×1022?个时，就 产生了真空现象。 2，真空度 密封容器里气体稀薄的程度。 3，真空度的几个常见单位 Torr?.?mTorr?.?mbar?.?Pascals?.?PSI?等 1ATM?=?760?Torr =?14.7?PSI =?1013?mbar 1Torr?=?1000?mTorr 1mbar?=?100?Pascals 具体看下表。 4，真空区域的划分 粗真空?760?~?10?Torr 低真空?10?~?10-3 Torr 高真空?10-3?~?10-8 Torr 超高真空?10-8?~?10-12?Torr 极高真空?≤?10-12 Torr 5，高度与真空的关系 一般认为，宇宙中的真空度为?极限真空。因此，高度与真空便有了对应关系。 50000?feet?(15000?米)?=?100?Torr 300000?feet?(90000?米)?=?10-3?Torr?(1?mTorr) （粗真空?） 750000?feet?(230000